Le quartz (dioxyde de silicium, SiO2) est un matériau largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, qui a une excellente stabilité thermique et une inertie chimique, ce qui fait Les produits en quartz tels que les tubes en quartz jouent un rôle indispensable dans le processus de production de semi-conducteurs.

Propriétés physiques et chimiques

La haute pureté et la stabilité des matériaux de quartz sont des raisons clés de leur large application dans l'industrie des semi-conducteurs. Ils peuvent résister à des températures élevées et ne réagissent pas facilement avec la plupart des produits chimiques, y compris des acides et des bases solides. De plus, le quartz a une bonne transmission de lumière et un faible coefficient d'expansion thermique, qui sont essentiels pour les processus semi-conducteurs qui nécessitent un contrôle précis.

Champ de candidature

1. Diffusion et dopage

Dans la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, les fours de diffusion sont utilisés pour introduire des atomes d'impureté dans des plaquettes de silicium pour changer les propriétés électriques. Dans ce processus, les tubes de quartz agissent comme des conteneurs pour transporter les tranches de silicium, offrant la protection d'isolement nécessaire et assurant une distribution uniforme de la température et un environnement chimique.

2. Dépôt de vapeur chimique (CVD)

La MCV est une technique utilisée pour développer des films minces dans lesquels les précurseurs gazeux réagissent chimiquement à la surface d'un substrat pour former une substance solide. Les tubes de quartz agissent dans le cadre de la chambre de réaction au cours de ce processus, et leurs surfaces internes sont maintenues propres et exemptes de contamination, contribuant à améliorer la qualité du film.

3. Gravure

L'étape de gravure dans la fabrication de semi-conducteurs est conçue pour éliminer les pièces ou les couches indésirables. Certains processus de gravure sec peuvent utiliser le dépôt de vapeur chimique amélioré par plasma (PECVD), où les tubes de quartz agissent comme des parois réacteurs pour maintenir le plasma et protéger l'équipement de la corrosion.

4. Royaume

Le recuit est un type de traitement thermique effectué pour réparer les défauts causés par les étapes de traitement précédentes. Pendant ce temps, le tube de quartz peut être utilisé comme isolant autour de l'élément chauffant tout en fournissant une atmosphère contrôlée pour empêcher l'oxydation indésirable ou d'autres réactions secondaires.

5. Lithographie

Bien que les principaux facteurs directement impliqués dans le processus de lithographie soient le réticule et la photorésistaire, le tube de quartz peut jouer un rôle dans les processus auxiliaires tels que le nettoyage et le séchage pour garantir que la surface de la pièce est propre sans affecter la précision de transfert de motifs ultérieure.

6. Emballage

Pour certaines technologies d'emballage avancées, telles que l'emballage à l'échelle des puces (CSP) ou l'empilement tridimensionnel, les tubes en quartz peuvent être utilisés pour les microcanaux ou autres composants structurels requis dans le processus de fabrication pour fournir des solutions pour une dissipation de chaleur efficace.

7. Instruments analytiques

Les tubes en quartz sont également souvent utilisés comme composants clés dans les instruments analytiques, tels que les spectromètres de masse et les colonnes chromatographiques, qui sont essentielles pour détecter et surveiller les niveaux d'impuretés dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.

Les tubes en quartz jouent un rôle important à toutes les étapes de l'industrie des semi-conducteurs en raison de leurs propriétés physiques et chimiques uniques. De la croissance initiale des cristaux aux tests finaux de produits, les tubes de quartz garantissent non seulement la cohérence et la fiabilité des conditions de processus, mais favorisent également les progrès et le développement de l'ensemble de l'industrie.

Luverre Quartz peut fabriquer des tubes de quartz personnalisés dans diverses formes, tels que la spirale, le carré, le rond, avec un traitement comprenant la coupe, la flexion, le soudage, etc., et disponible en différentes couleurs, tels que les tubes de quartz en quartz, des tubes à quartz blancs, et ainsi.