Il quarzo (biossido di silicio, SIO2) è un materiale ampiamente usato nella produzione di semiconduttori, che ha un'eccellente stabilità termica e inerzia chimica, il che produce I prodotti in quarzo come i tubi di quarzo svolgono un ruolo indispensabile nel processo di produzione dei semiconduttori.

Proprietà fisiche e chimiche

L'elevata purezza e la stabilità dei materiali al quarzo sono motivi chiave per la loro ampia applicazione nel settore dei semiconduttori. Possono resistere a temperature elevate e non reagiscono facilmente con la maggior parte delle sostanze chimiche, compresi acidi e basi forti. Inoltre, il quarzo ha una buona trasmissione della luce e un basso coefficiente di espansione termica, che sono essenziali per i processi di semiconduttore che richiedono un controllo preciso.

Campo dell'applicazione

1. Diffusione e doping

Nella fabbricazione di wafer a semiconduttore, i forni di diffusione vengono utilizzati per introdurre atomi di impurità nei wafer di silicio per cambiare proprietà elettrica. In questo processo, i tubi di quarzo fungono da contenitori per trasportare i wafer di silicio, fornendo la protezione dell'isolamento necessaria e garantendo la distribuzione uniforme della temperatura e l'ambiente chimico.

2. Deposizione di vapore chimico (CVD)

Il CVD è una tecnica utilizzata per far crescere film sottili in cui i precursori gassosi reagiscono chimicamente sulla superficie di un substrato per formare una sostanza solida. I tubi di quarzo agiscono come parte della camera di reazione durante questo processo e le loro superfici interne sono mantenute pulite e prive di contaminazione, contribuendo a migliorare la qualità del film.

3. Attacco

La fase di incisione nella produzione di semiconduttori è progettata per rimuovere parti o strati indesiderati. Alcuni processi di attacco a secco possono utilizzare la deposizione di vapore chimico potenziato dal plasma (PECVD), in cui i tubi di quarzo agiscono come pareti del reattore per contenere il plasma e proteggere le attrezzature dalla corrosione.

4. Ricottura

La ricottura è un tipo di trattamento termico eseguito per riparare i difetti causati dalle precedenti fasi di elaborazione. Durante questo periodo, il tubo al quarzo può essere utilizzato come isolante attorno all'elemento di riscaldamento fornendo al contempo un'atmosfera controllata per prevenire l'ossidazione indesiderata o altre reazioni laterali.

5. Litografia

Sebbene i principali fattori direttamente coinvolti nel processo di litografia siano il reticolo e il fotoresist, il tubo al quarzo può svolgere un ruolo nei processi ausiliari come la pulizia e l'asciugatura per garantire che la superficie del pezzo sia pulita senza influire sulla successiva accuratezza del trasferimento di pattern.

6. Imballaggio

Per alcune tecnologie di imballaggio avanzate, come l'imballaggio su scala chip (CSP) o lo stacking tridimensionale, i tubi di quarzo possono essere utilizzati per microcanali o altri componenti strutturali necessari nel processo di produzione per fornire soluzioni per una dissipazione di calore efficiente.

7. Strumenti analitici

I tubi di quarzo sono spesso utilizzati anche come componenti chiave negli strumenti analitici, come spettrometri di massa e colonne cromatografiche, essenziali per rilevare e monitorare i livelli di impurità nei processi di produzione di semiconduttori.

I tubi di quarzo svolgono un ruolo importante in tutte le fasi del settore dei semiconduttori a causa delle loro proprietà fisiche e chimiche uniche. Dalla crescita dei cristalli iniziali ai test finali del prodotto, i tubi di quarzo non solo garantiscono la coerenza e l'affidabilità delle condizioni di processo, ma promuovono anche il progresso e lo sviluppo dell'intero settore.

Luverre Quartz può produrre tubi di quarzo personalizzati in varie forme, come spirale, quadrato, rotondo, con elaborazione tra cui taglio, flessione, saldatura, ecc. E disponibili in diversi colori, come tubi di quarzo trasparenti, tubi di quarzo opaco, tubi al quarzo bianco lattente, tubi al quarzo rosso e sola.