Кварц (диоксид кремния, SiO2) - широко используемый материал в производстве полупроводников, который обладает превосходной тепловой стабильностью и химической инертностью, которая производит Кварцевые продукты , такие как кварцевые трубки, играют незаменимую роль в процессе полупроводникового производства.

Физические и химические свойства

Высокая чистота и стабильность кварцевых материалов являются ключевыми причинами их широкого применения в полупроводниковой промышленности. Они могут выдерживать высокие температуры и не легко реагировать с большинством химических веществ, включая сильные кислоты и основания. Кроме того, Quartz имеет хорошую передачу света и низкий коэффициент термического расширения, которые необходимы для полупроводниковых процессов, которые требуют точного контроля.

Поле приложения

1. Диффузия и допинг

При изготовлении полупроводниковых пластин диффузионные печи используются для введения атомов примесей в кремниевые пластины для изменения электрических свойств. В этом процессе кварцевые трубки действуют как контейнеры для переноса кремниевых пластин, обеспечивая необходимую защиту изоляции и обеспечивая равномерное распределение температуры и химическую среду.

2. Химическое осаждение паров (сердечно -сосудистые заболевания (CVD)

ССЗ - это метод, используемый для выращивания тонких пленок, в которых газообразные предшественники химически реагируют на поверхности субстрата с образованием твердого вещества. Кварцевые трубки действуют как часть реакционной камеры во время этого процесса, и их внутренние поверхности держатся в чистоте и свободны от загрязнения, помогая улучшить качество пленки.

3. травление

Стадия травления в производстве полупроводников предназначено для удаления нежелательных деталей или слоев. В некоторых процессах сухого травления могут использоваться химическое отложение паров в плазме (PECVD), где кварцевые трубки действуют как стенки реактора для удержания плазмы и защиты оборудования от коррозии.

4. Отжиг

Отжиг - это тип термообработки, выполненной для восстановления дефектов, вызванных предыдущими этапами обработки. В течение этого времени кварцевая трубка может использоваться в качестве изолятора вокруг нагревательного элемента, обеспечивая контролируемую атмосферу для предотвращения нежелательного окисления или других побочных реакций.

5. Литография

Хотя основными факторами, непосредственно связанными с литографическим процессом, являются сетка и фоторезист, кварцевая трубка может играть роль в вспомогательных процессах, таких как очистка и сушка, чтобы гарантировать, что поверхность заготовки чистая, не влияя на последующую точность переноса рисунка.

6. Упаковка

Для некоторых расширенных технологий упаковки, таких как упаковка SIP-масштаба (CSP) или трехмерная укладка, кварцевые трубки могут использоваться для микроканалов или других структурных компонентов, необходимых в процессе производства для обеспечения эффективного рассеивания тепла.

7. Аналитические инструменты

Кварцевые трубки также часто используются в качестве ключевых компонентов в аналитических инструментах, таких как масс -спектрометры и хроматографические столбцы, которые необходимы для обнаружения и мониторинга уровней примесей в процессах производства полупроводников.

Кварцевые трубки играют важную роль во всех этапах полупроводниковой промышленности из -за их уникальных физических и химических свойств. От первоначального роста кристаллов до конечного тестирования продукта кварцевые трубки не только обеспечивают согласованность и надежность условий процесса, но и способствуют прогрессу и развитию всей отрасли.

Luverre Quartz может производить индивидуальные кварцевые трубки в различных формах, таких как спираль, квадратная, круглая, с обработкой, включая резку, изгиб, сварку и т. Д., И доступны в различных цветах, таких как прозрачные кварцевые трубки, непрозрачные кварцевые трубки, молочные белые кварцевые трубки, красные кварцевые трубки и т. Д.