Quarz (Silicon Dioxid, SiO2) ist ein weit verbreitetes Material in der Semiconductor -Herstellung, das eine hervorragende thermische Stabilität und chemische Inertheit aufweist, die macht Quarzprodukte wie Quarzrohre spielen eine unverzichtbare Rolle im Halbleiterproduktionsprozess.

Physikalische und chemische Eigenschaften

Die hohe Reinheit und Stabilität von Quarzmaterialien sind wichtige Gründe für ihre breite Anwendung in der Halbleiterindustrie. Sie können hohen Temperaturen standhalten und nicht leicht mit den meisten Chemikalien reagieren, einschließlich starker Säuren und Basen. Darüber hinaus verfügt Quartz über eine gute Lichtübertragung und einen niedrigen thermischen Expansionskoeffizienten, die für Halbleiterprozesse, die eine präzise Kontrolle erfordern, unerlässlich sind.

Anwendungsfeld

1. Diffusion und Dotierung

Bei der Herstellung von Halbleiterwafern werden Diffusionsöfen verwendet, um Verunreinigungsatome in Siliziumwafer einzuführen, um die elektrischen Eigenschaften zu ändern. In diesem Prozess wirken Quarzrohre als Behälter für die Tragen der Siliziumwaffel, die den erforderlichen Isolationsschutz und die Gewährleistung einer gleichmäßigen Temperaturverteilung und der chemischen Umgebung.

2. Chemische Dampfabscheidung (CVD)

CVD ist eine Technik, mit der dünne Filme angewendet werden, bei der gasförmige Vorläufer chemisch auf der Oberfläche eines Substrats reagieren, um eine feste Substanz zu bilden. Quarzrohre fungieren während dieses Prozesses als Teil der Reaktionskammer, und ihre inneren Oberflächen werden sauber und frei von Kontaminationen gehalten, wodurch die Qualität des Films verbessert wird.

3. Ätzen

Der Ätzschritt in der Semiconductor -Herstellung soll unerwünschte Teile oder Schichten entfernen. Einige trockene Ätzprozesse können Plasma-verstärkte chemische Dampfablagerung (PECVD) verwenden, wobei Quarzrohre als Reaktorwände fungieren, um das Plasma zu halten und Geräte vor Korrosion zu schützen.

4. Glühen

Tempern ist eine Art Wärmebehandlung, die durchgeführt wird, um Defekte zu reparieren, die durch frühere Verarbeitungsschritte verursacht werden. Während dieser Zeit kann das Quarzrohr als Isolator um das Heizelement verwendet werden, während eine kontrollierte Atmosphäre bereitgestellt wird, um eine unerwünschte Oxidation oder andere Seitenreaktionen zu verhindern.

5. Lithographie

Obwohl die Hauptfaktoren, die direkt am Lithographieprozess beteiligt sind, das Rets- und Photoresist sind, kann das Quarzrohr bei Hilfsprozessen wie Reinigung und Trocknen eine Rolle spielen, um sicherzustellen, dass die Oberfläche des Werkstücks sauber ist, ohne die nachfolgende Mustertransfergenauigkeit zu beeinflussen.

6. Verpackung

Für einige fortschrittliche Verpackungstechnologien wie Chip-Skala-Verpackungen (CSP) oder dreidimensionales Stapeln können Quarzröhrchen für Mikrokanäle oder andere strukturelle Komponenten verwendet werden, die im Herstellungsprozess erforderlich sind, um Lösungen für eine effiziente Wärmeableitung bereitzustellen.

7. Analytische Instrumente

Quarzrohre werden häufig auch als Schlüsselkomponenten in analytischen Instrumenten verwendet, wie z. B. Massenspektrometer und chromatographische Säulen, die für die Erkennung und Überwachung von Verunreinigungsniveaus bei Halbleiterherstellungsprozessen von wesentlicher Bedeutung sind.

Quarzrohre spielen aufgrund ihrer einzigartigen physikalischen und chemischen Eigenschaften eine wichtige Rolle in allen Phasen der Halbleiterindustrie. Von der anfänglichen Kristallwachstum bis hin zu Endprodukttests gewährleisten Quarzrohre nicht nur die Konsistenz und Zuverlässigkeit der Prozessbedingungen, sondern fördern auch den Fortschritt und die Entwicklung der gesamten Branche.

Luverre Quarz kann maßgeschneiderte Quarzrohre in verschiedenen Formen herstellen, wie z. B. Spiral, Quadrat, rund, mit Verarbeitung, Biege, Biegung, Schweißen usw. und in verschiedenen Farben erhältlich, wie transparente Quarzrohre, undurchsichtige Quarzrohre, milchiger weißer Quarzrohr, rote Quarzrohr und so weiter.