Processus de recuit semi-conducteur de haute pureté tuyau en verre de quartz

Processus de recuit semi-conducteur de haute pureté Le tuyau en verre de quartz est un type spécial de verre de quartz fabriqué par le processus de recuit de précision et utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Les principales caractéristiques de ce verre de quartz comprennent une pureté élevée, une faible teneur en hydroxyle et une résistance à haute température. Le processus de recuit est une étape clé du processus de fabrication du verre de quartz, qui élimine la contrainte interne du verre et améliore son uniformité optique par des processus de chauffage et de refroidissement.

Dans le processus de recuit de précision, le processus de recuit du verre de quartz est divisé en plusieurs étapes: stade de chauffage, étape de trempage et étape de refroidissement. Chaque étape a ses paramètres et objectifs de processus spécifiques. Le stade de chauffage consiste à chauffer le verre de quartz à la température de recuit, le stade de trempage consiste à éliminer la contrainte interne du verre et à rendre sa structure plus uniforme, et le stade de refroidissement est de refroidir lentement le verre de quartz pour éviter de générer une nouvelle contrainte.

Grâce à ce processus de recuit de précision, le verre de quartz qui répond aux exigences de haute performance peut être produit, qui propose une large gamme d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans l'oxydation de la tranche de silicium de qualité semi-conductrice, la diffusion et d'autres processus. Les coefficients de haute pureté, à faible teneur en matière de dilatation thermique et les excellentes propriétés optiques des tuyaux en verre de quartz fabriqués par le processus de recuit des semi-conducteurs de haute pureté en font un matériau indispensable dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.