진공 챔버용 석영 플랜지 는 고순도 용융 실리카로 제작된 정밀 엔지니어링 밀봉 및 연결 부품입니다. 이 제품은 반도체, 광학 및 용광로 응용 분야에 대해 극도의 열충격 저항성, 화학적 불활성 및 초고진공(UHV) 무결성을 제공합니다.

직접 제조업체로서 당사는 글로벌 구매자에게 최소 주문 수량(MOQ) 없이 OEM/ODM 서비스, 정밀 가공 및 맞춤형 석영 플랜지 솔루션을 제공합니다.

진공 챔버 석영 플랜지란 무엇이며 왜 사용합니까?

석영 플랜지는 진공 시스템 및 고온 반응기에서 밀봉, 연결 또는 광학 액세스를 제공하는 데 사용되는 특수 인터페이스 구성 요소입니다. 표준 금속 플랜지와 달리 석영 플랜지는 공정에서 절대적인 화학적 순도, 극도의 내열성 또는 광학적 투명성이 요구되는 경우 필수적입니다.

진공 시스템에서 석영 플랜지의 주요 장점

극한의 열 충격 저항: 균열 없이 급격한 온도 변화를 견디므로 관상로 및 CVD 반응기에 이상적입니다.

초고진공(UHV) 무결성: 매우 낮은 가스 방출률로 오염 없는 환경을 보장합니다.

화학적 불활성: 부식성 가스(HF 제외) 및 공격적인 산에 대한 내성이 뛰어납니다.

광학 투명성: 투명 석영 변형을 통해 현장에서 시각적 공정 모니터링이 가능합니다.

고순도: 민감한 반도체 및 실험실 공정에서 금속 오염을 방지합니다.

귀하의 응용 분야에 적합한 석영 플랜지를 선택하는 방법

올바른 석영 플랜지를 선택하는 것은 특정 진공 수준, 작동 온도 및 밀봉 요구 사항에 따라 다릅니다. 다음은 엔지니어와 조달 관리자가 올바른 선택을 하는 데 도움이 되는 빠른 가이드입니다.

고온 씰링:불투명 석영 플랜지 링 -우수한 단열 및 안정성

시각적 모니터링:투명한 용융 실리카 플랜지 - 높은 UV에서 IR 투과율

UHV 시스템:정밀 광택 CF 플랜지 - 금속 개스킷 밀봉을 위한 매끄러운 표면

부식성 환경: SiC 코팅 석영 플랜지 - 향상된 내화학성

맞춤형 석영 플랜지 사양 및 제조

우리는 귀하의 정확한 도면이나 샘플을 기반으로 맞춤형 석영 부품 제조를 전문으로 합니다. 표준 치수가 필요하든 복잡한 비표준 형상이 필요하든 당사의 정밀 가공은 장비와의 완벽한 호환성을 보장합니다.

표준 사용자 정의 매개변수

재료 순도: 99.99% 고순도 용융 실리카(SiO2)

외경(OD): 맞춤형(10mm에서 1000mm+까지)

내경(ID): 맞춤형

두께: 맞춤형(표준: 3mm - 20mm)

표면 마감: 화염 연마, 연마 또는 광학 등급 연마(Ra ≤ 0.4 μm)

작동 온도: 최대 1100°C까지 연속 사용; 연화점 ~1730°C

우리의 제조 역량

OEM/ODM 서비스: 우리는 귀하의 CAD 도면이나 실제 샘플을 정확하게 생산합니다.

정밀 가공: 엄격한 공차를 위한 다이아몬드 공구 연삭, 드릴링 및 랩핑.

Low/No MOQ: 프로토타입 개발과 대량 생산을 모두 지원합니다.

빠른 처리 시간: 효율적인 생산 라인은 긴급 프로젝트에 대한 빠른 납품을 보장합니다.

석영 플랜지의 산업 응용

당사의 맞춤형 석영 플랜지는 까다로운 글로벌 산업 전반에 걸쳐 널리 사용됩니다.

반도체 제조: CVD, LPCVD 및 확산로에서 챔버 라이너, 가스 유입구 및 밀봉 링으로 사용됩니다.

진공 시스템: 고진공 연구 및 박막 증착 시 누출 방지, 베이킹 가능한 연결을 구성하는 데 필수적입니다.

광학 및 포토닉스: 레이저 시스템 및 UV/IR 광학 설정에서 끝 창 또는 장착 구성 요소 역할을 합니다.

화학 처리: 초순수산 및 할로겐 가스를 처리하는 반응기 라이너 및 투시창에 이상적입니다.

실험실 장비: 질량 분석기, 전자 현미경 및 우주 시뮬레이션 챔버에 사용됩니다.

석영 플랜지 제조업체로 당사를 선택하는 이유는 무엇입니까?

맞춤형 석영 부품에 대한 신뢰할 수 있는 공급업체를 찾는 것은 어려울 수 있습니다. 우리는 다음을 제공하여 일반적인 조달 문제를 해결합니다.

비표준 소싱 문제 해결: 적합한 사이즈를 찾을 수 없는 경우 처음부터 맞춤 제작해 드립니다.

품질 안정성: 엄격한 품질 관리 및 어닐링 공정을 통해 열 응력 및 미세 균열을 방지합니다.

유연한 생산: 높은 MOQ 장벽 없이 소규모 배치 맞춤 주문을 수용합니다.

글로벌 수출 경험: 전 세계적으로 안전한 배송을 보장하기 위해 국제 물류 및 수출 포장을 처리합니다.

자주 묻는 질문(FAQ)

1. 투명 석영 플랜지와 불투명 석영 플랜지의 차이점은 무엇입니까?

투명 석영 플랜지는 투명하며 광학적 관찰 또는 UV 투과에 사용됩니다. 불투명 석영 플랜지에는 더 나은 단열 기능을 제공하는 미세 기포가 포함되어 있으며 일반적으로 고온 용광로의 밀봉에 사용됩니다.

2. CAD 도면에 따라 석영 플랜지를 제작할 수 있습니까?

예, 우리는 OEM/ODM 서비스를 전문으로 합니다. 2D/3D 도면이나 실제 샘플을 보내주시면 당사 엔지니어가 귀하가 필요로 하는 정확한 맞춤형 석영 부품을 제작해 드립니다.

3. 석영 플랜지의 최대 작동 온도는 얼마입니까?

당사의 고순도 석영 플랜지는 최대 1100°C의 온도에서 지속적으로 작동할 수 있으며 최대 1300°C의 단기 노출을 견딜 수 있습니다.

4. 최소 주문 수량(MOQ)이 있습니까?

우리는 R&D 연구소와 프로토타입 테스트의 요구 사항을 잘 알고 있습니다. 우리는 맞춤형 석영 플랜지에 대해 MOQ가 낮거나 없는 유연한 생산을 제공합니다.

5. 플랜지의 진공 밀봉 성능을 어떻게 보장합니까?

진공 응용 분야의 경우 적절한 개스킷(예: 구리 또는 Viton)과 함께 사용할 때 완벽한 누출 방지 밀봉을 보장하기 위해 밀봉 표면에 고정밀 연마(래핑)를 제공합니다.

6. 석영 플랜지를 초고진공(UHV) 시스템에 사용할 수 있습니까?

예, 매우 낮은 가스 방출 속도와 높은 순도로 인해 당사의 석영 플랜지는 UHV 환경과의 호환성이 매우 높습니다.

7. 어떤 표면 마감이 가능합니까?

당사는 귀하의 응용 분야 요구 사항에 따라 화염 광택, 무광택 연마 및 광학 등급 광택 마감을 제공합니다.

8. 석영 플랜지는 화학적 부식에 강합니까?

석영은 매우 불활성이며 거의 모든 산에 내성이 있습니다. 다만, 불산(HF)이나 열인산과 함께 사용해서는 안 된다.

9. 맞춤 주문의 일반적인 리드타임은 얼마나 됩니까?

표준 맞춤 주문은 일반적으로 도면의 복잡성과 주문 수량에 따라 영업일 기준 7~15일이 소요됩니다.

10. 전 세계적으로 배송합니까?

예, 저희는 글로벌 수출에 대한 폭넓은 경험을 갖고 있으며 귀하의 석영 제품을 귀하의 시설까지 안전하게 배송할 수 있도록 해상 또는 항공 화물을 준비할 수 있습니다.

진공 챔버용 석영 플랜지는 극한의 열 충격, 부식성 화학 물질 및 초고진공(UHV) 환경을 견딜 수 있도록 설계된 고순도(99.99% SiO2) 밀봉 부품입니다. 이는 반도체 제조(CVD/확산로), 광학 시스템 및 실험실 장비에 중요합니다. 주요 이점으로는 최대 1100°C의 작동 온도, 광학적 투명성(투명 석영의 경우) 및 가스 방출 제로가 있습니다. 맞춤형 석영 플랜지는 OEM/ODM 서비스를 통해 정밀하게 가공되어 누출 방지 밀봉을 위한 특정 치수 및 표면 마감(예: Ra ≤ 0.4μm) 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

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