Фланцы из полупроводникового кварцевого стекла являются основными структурными компонентами, используемыми в оборудовании для производства полупроводников для соединения, герметизации и направления технологических газов или поддержания вакуума в реакционных камерах. Точно изготовленное из синтетического кварцевого стекла высокой чистоты, оно демонстрирует незаменимую физическую и химическую стабильность в чрезвычайно суровых технологических условиях, таких как высокие температуры, сильная коррозионная активность и высокая плотность плазмы, что служит краеугольным камнем для обеспечения производительности производства чипов и надежности оборудования.

Основные преимущества продукта: Адаптировано для передовых производственных процессов.

1. Максимальная чистота и низкий уровень осадков.

Чистота материала: используется высококачественное синтетическое кварцевое стекло с чрезвычайно низким содержанием примесей ионов металлов (таких как Na, K, Fe и т. д.) (обычно менее 1 ppm), что существенно устраняет дефекты пластины, вызванные самозагрязнением аксессуаров.

Низкое выделение альфа-частиц: для сложных процессов (таких как DRAM, 3D NAND) свойство кварцевого стекла с низким содержанием альфа-частиц эффективно предотвращает мягкие ошибки в схеме пластины и обеспечивает надежность устройства.

2. Отличная термостабильность и устойчивость к тепловому удару.

Устойчивость к высоким температурам: температура размягчения достигает более 1700°C, и он может стабильно работать в течение длительного времени при температуре процесса выше 1200°C без деформации или улетучивания.

Устойчивость к термическому удару: благодаря чрезвычайно низкому коэффициенту теплового расширения (приблизительно 5,5×10⁻⁷/°C) он может выдерживать быстрый нагрев и охлаждение во время процесса, эффективно предотвращая растрескивание.

3. Отличная химическая инертность.

Он обладает чрезвычайно высокой стойкостью к подавляющему большинству кислот (кроме плавиковой кислоты и горячей фосфорной кислоты), галогенным газам (таким как Cl₂, F₂) и высококоррозионной плазме, что гарантирует отсутствие коррозии во время травления, CVD, диффузии и других процессов, а также продлевает срок его службы.

4. Отличные оптические и электрические свойства.

Высокий коэффициент пропускания света: он обладает превосходным коэффициентом пропускания света в широком спектральном диапазоне от ультрафиолетового до инфракрасного, что делает его пригодным для процессов, требующих оптического контроля или отверждения ультрафиолетом.

Высокая диэлектрическая прочность: он является отличным изолятором и стабильно работает в среде высокого напряжения и высокочастотной плазмы, предотвращая дуговой разряд.

5. Возможность точной обработки размеров.

Благодаря прецизионной механической обработке с ЧПУ, технологиям лазерной резки и термоформования могут быть достигнуты микронные допуски на размеры и сложная геометрия, что обеспечивает идеальное соответствие другим компонентам оборудования и вакуумной герметизации.

Основные сценарии применения

Фланцы из кварцевого стекла широко используются в ключевом оборудовании полупроводникового производства:

Процесс диффузии: фланец печной трубы несет кристаллическую лодочку и вводит легированный газ при высокой температуре.

Химическое осаждение из паровой фазы: в таком оборудовании, как LPCVD и PECVD, оно служит окном для реакционной камеры, фланцем для впрыска газа или соединительной деталью.

Сухое травление: в травильных машинах ICP и CCP он подвергается непосредственному воздействию высококоррозионной плазменной среды и используется для верхних крышек камер, фиксации электродов или распределения газа.

Литография: в шаговых устройствах или сканерах используется в качестве опорной конструкции для определенных оптических систем или маскирующих пластин.

Ионная имплантация: в качестве изолирующего и герметизирующего компонента в жгутах проводов или камерах.

Болевые точки наших клиентов, которые мы можем решить

1. Решение проблемы загрязнения частицами. Традиционные металлические или обычные керамические аксессуары могут терять частицы под воздействием высокотемпературной плазмы. Кварцевое стекло имеет гладкую и плотную поверхность, обладает сильными противораскалывающими свойствами и значительно снижает загрязнение пластины частицами.

2. Устранение риска загрязнения металлами: кварцевый материал высокой чистоты принципиально отсекает путь миграции металлических примесей в технологическую камеру, повышая выход продукта, что особенно важно для процессов ниже 90 нм.

3. Продлите срок службы компонентов и сократите совокупную стоимость владения. В средах с высокой коррозией кварцевые фланцы имеют более длительный цикл замены по сравнению с другими материалами, что сокращает время простоя оборудования и затраты на запасные части.

4. Обеспечение стабильности и повторяемости процесса. Выдающаяся термическая и химическая стабильность гарантируют, что каждая партия процесса выполняется в одной и той же камере, обеспечивая аппаратную основу для повторяемости процесса.

5. Решение проблем новых процессов. По мере перехода полупроводниковых процессов к меньшим узлам (таким как 3 и 2 нм), требования к чистоте и стабильности материалов становятся все более строгими. Кварцевое стекло — один из немногих материалов, отвечающих этим передовым требованиям.

Индивидуальные услуги и техническая поддержка

Мы хорошо осведомлены о разнообразии полупроводникового оборудования и поэтому предлагаем комплексные индивидуальные услуги.

Обработка по чертежам: Точная обработка и изготовление осуществляется по 2D/3D чертежам, предоставленным заказчиком.

Консультация по выбору материала: Для конкретных процессов (например, при сверхвысоких температурах, определенных агрессивных газах) порекомендуйте наиболее подходящие марки кварцевого стекла (например, GE-214, Suprasil® и т. д.).

Совместное проектирование и оптимизация: наша команда инженеров может работать в тесном сотрудничестве с командой разработчиков вашего оборудования, чтобы оптимизировать конструкцию фланцев на начальном этапе, повышая производительность, надежность и ремонтопригодность.

Обработка и очистка поверхности: мы предлагаем различные решения для обработки поверхности, включая огневую полировку, и соблюдаем строгие процессы очистки и упаковки полупроводникового класса, чтобы гарантировать, что продукция готова к использованию после выхода с завода.

На пути производства полупроводников к более высокой точности и более сложным процессам надежность каждого компонента имеет жизненно важное значение. Наши аксессуары для фланцев из кварцевого стекла, обладающие присущими им преимуществами материалов и выдающимися характеристиками в экстремальных условиях, стали надежным выбором для обеспечения стабильной работы вашего оборудования и высокого выхода стружки. Мы стремимся предоставлять надежную техническую поддержку мировой полупроводниковой промышленности посредством профессиональных продуктов и индивидуальных услуг.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.