В мире прецизионного и сложного производства полупроводников выбор каждого материала напрямую связан с производительностью, производительностью и надежностью конечного продукта — чипа. Кварцевая трубка , являясь ключевым компонентом, обладающим высокой чистотой и устойчивостью к высоким температурам, играет незаменимую роль во многих основных технологических звеньях.

Основное применение кварцевой трубки в производстве полупроводников.

Кварцевая трубка — это не обычная стеклянная трубка, это специальный материал, изготовленный из диоксида кремния высокой чистоты, обладающий превосходной физической и химической стабильностью. В области полупроводников он в основном применяется в следующих ключевых областях:

1. Процесс высокотемпературного окисления. При производстве чипов необходимо вырастить высококачественный изоляционный слой из диоксида кремния или маскирующий слой на поверхности кремниевой пластины. В качестве основной печи горизонтальных или вертикальных диффузионных печей кварцевые трубы должны выдерживать воздействие высоких температур выше 1200 ° C в течение длительного времени, обеспечивая чистую реакционную камеру для реакции между кремниевыми пластинами и парами кислорода/воды, обеспечивая однородность и чистоту оксидного слоя.

2. Процесс диффузионного легирования. Этот процесс включает в себя легирование определенных примесей (таких как бор и фосфор) в кремниевые пластины при высоких температурах для образования PN-переходов. Во время этого процесса кварцевая трубка должна противостоять коррозии из-за легирующего газа и предотвращать любое загрязнение ионами металлов, в противном случае это серьезно повлияет на электрические характеристики чипа.

3. Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD): используется для нанесения тонких пленок, таких как нитрид кремния и поликристаллический кремний, на пластины. Кварцевая трубка здесь служит реакционной камерой, а ее природная чистота и устойчивость к деформации при высоких температурах являются предпосылками для обеспечения равномерного и последовательного осаждения тонких пленок.

4. Упаковка устройства. Для некоторых высокопроизводительных силовых устройств или оптоэлектронных устройств чип необходимо поместить в кварцевую трубку, заполненную инертным газом, чтобы обеспечить постоянную, незагрязненную герметичную защитную среду.

Высокие требования и преимущества кварцевых трубок полупроводникового качества.

Спрос на кварцевые трубки в полупроводниковой промышленности выходит далеко за рамки «высокой термостойкости», и их требования можно резюмировать как «высокие, чистые, стабильные и точные».

Требование 1: Чрезвычайно высокая чистота и низкий уровень микроэлементов.

Болевые точки отрасли: любые следовые количества примесей щелочных металлов (таких как натрий, калий) или тяжелых металлов (таких как железо, медь) могут диффундировать в кремниевые пластины при высоких температурах, образуя фатальные дефектные центры, которые могут вызвать утечку и выход устройства из строя.

Преимущество нашего продукта: мы используем метод дуговой плавки для приготовления кварцевого песка высокой чистоты, гарантируя, что содержание гидроксила (OH ⁻) и содержание металлических примесей в основном материале кварцевой трубки достигают уровня ppb (частей на миллиард), что намного выше, чем в обычных кварцевых трубках промышленного класса, и устраняя источники загрязнения из источника.

Требование 2: Отличная устойчивость к высокотемпературной деформации .

Болевая точка отрасли: при длительных высокотемпературных процессах обычное кварцевое стекло может размягчаться, провисать или деформироваться из-за снижения вязкости, что приводит к неравномерному потоку воздуха внутри печи и снижению повторяемости процесса.

Преимущества нашей продукции: Наши кварцевые трубки имеют чрезвычайно высокие температуры размягчения и отличные температурные характеристики вязкости, сохраняя превосходную стабильность формы даже при длительно высоких температурах 1300 ° C, обеспечивая стабильные и постоянные технологические окна.

Требование 3: Превосходная термостойкость и низкое тепловое расширение.

Болевые точки отрасли: во время быстрых процессов нагрева и охлаждения термический стресс может привести к разрыву кварцевых трубок, что приведет к перебоям в производстве и значительным экономическим потерям.

Преимущество нашего продукта: коэффициент теплового расширения самого кварцевого материала чрезвычайно низок. Мы также устранили внутреннее напряжение кварцевых трубок с помощью сложных процессов отжига, что позволило им выдерживать резкие изменения температуры без легкого взрыва, тем самым улучшая использование оборудования и безопасность производства.

Требование 4. Точный размер и возможность индивидуальной настройки.

Болевые точки отрасли: различные модели диффузионных печей и оборудования LPCVD предъявляют чрезвычайно точные требования к диаметру, длине, толщине стенок, интерфейсу фланцев и т. д. кварцевых трубок.

Преимущество нашего продукта: мы ориентируемся на высокоточное индивидуальное производство. Мы можем строго контролировать допуски для нестандартных индивидуальных размеров и предоставлять профессиональные услуги вторичной обработки, такие как вскрытие, гибка, сварка и т. д., чтобы обеспечить идеальное соответствие между кварцевыми трубками и оборудованием.

Почему выбирают нас?

Среди мировых поставщиков кварцевой продукции мы выделяемся следующими основными преимуществами:

Вертикально интегрированная производственная мощность: от очистки сырья до обработки готовой продукции мы добились полного контроля процесса, чтобы обеспечить контролируемое качество, оптимизацию затрат и стабильные сроки поставки.

Строгая система обеспечения качества: мы создали цех без пыли, соответствующий стандартам полупроводниковой промышленности, оснащенный современным испытательным оборудованием, и проводим строгие проверки физических характеристик и химической чистоты каждой партии продукции, покидающей завод.

Глубокая техническая поддержка и опыт. Наша команда инженеров хорошо разбирается в процессах производства полупроводников и может предоставить клиентам дальновидные рекомендации по выбору и устранению неисправностей. Они не только поставщики, но и технические партнеры.

Глобальная сеть обслуживания: как предприятие, давно занимающееся внешней торговлей, мы знакомы с процессами международной торговли и можем обеспечить быструю логистическую поддержку и профессиональное послепродажное обслуживание клиентам по всему миру.

Реальный случай клиента (анонимно)

Мы сотрудничаем с известным производителем силовых полупроводников в Юго-Восточной Азии. Заказчик часто сталкивался с небольшими деформациями кварцевой трубы после непрерывной работы в течение нескольких недель в процессе высокотемпературного отжига, что приводило к неравномерности температурных полей внутри печи и колебаниям выхода продукта, превышающим 5%.

Наше решение: после анализа состояния на месте и испытаний образцов мы обнаружили, что кварцевая трубка, используемая клиентом, имеет недостаточную устойчивость к ползучести при высоких температурах. Мы адаптировали и разработали для него материал кварцевой трубки с более высокой вязкостью, а также оптимизировали конструкцию его опорной конструкции.

Конечный результат: после замены кварцевой трубки, изготовленной по индивидуальному заказу, средний срок службы кварцевой трубки клиента увеличился с 3 до 8 месяцев, а стабильность процесса значительно улучшилась. Колебание доходности в этом звене контролировалось в пределах 1%, что приносило заказчику значительную экономическую выгоду.

Прогресс производства полупроводников нельзя отделить от совершенствования каждого основного компонента. Кварцевая трубка хоть и маленькая, но на ней лежит большая ответственность. Выбор надежного, профессионального и инновационного поставщика кварцевых трубок является ключом к обеспечению стабильности и эффективности вашей производственной линии.

С какими проблемами или трудностями вы столкнулись при использовании вашего продукта? Добро пожаловать, чтобы оставить сообщение и связаться с нами. Наша команда рада предложить вам решение.

Luverre Quartz может производить кварцевые трубки по индивидуальному заказу различной формы, например, спиральные, квадратные, круглые, с обработкой, включая резку, гибку, сварку и т. д., и доступны в различных цветах, например, прозрачные кварцевые трубки, непрозрачные кварцевые трубки, молочно-белые кварцевые трубки, красные кварцевые трубки и так далее.