Tubo de vidrio de cuarzo de recocido de semiconductores de alta pureza

Proceso de recocido de semiconductores de alta pureza El tubo de vidrio de cuarzo es un tipo especial de vidrio de cuarzo fabricado a través del proceso de recocido de precisión y utilizado en la industria de semiconductores. Las características principales de este vidrio de cuarzo incluyen alta pureza, bajo contenido de hidroxilo y alta resistencia a la temperatura. El proceso de recocido es un paso clave en el proceso de fabricación del vidrio de cuarzo, que elimina el estrés interno del vidrio y mejora su uniformidad óptica a través de los procesos de calefacción y enfriamiento.

En el proceso de recocido de precisión, el proceso de recocido de vidrio de cuarzo se divide en varias etapas: etapa de calefacción, etapa de remojo y etapa de enfriamiento. Cada etapa tiene sus parámetros y objetivos de proceso específicos. La etapa de calentamiento es calentar el vidrio de cuarzo a la temperatura de recocido, la etapa de remojo es eliminar el estrés interno del vidrio y hacer que su estructura sea más uniforme, y la etapa de enfriamiento es enfriar lentamente el vidrio de cuarzo para evitar generar un nuevo estrés.

A través de este proceso de recocido de precisión, se pueden producir vidrio de cuarzo que cumple con los requisitos de alto rendimiento, que tiene una amplia gama de aplicaciones en la fabricación de semiconductores, especialmente en la oxidación de obleas de silicio de grado semiconductor, la difusión y otros procesos. El coeficiente de expansión térmica de alta pureza, bajo y baja expansión y excelentes propiedades ópticas de los tubos de vidrio de cuarzo hechos por el proceso de recocido de semiconductores de alta pureza los convierten en un material indispensable en el proceso de fabricación de semiconductores.