고순도 반도체 어닐링 공정 석영 유리 튜브

고순도 반도체 어닐링 공정 석영 유리 튜브는 정밀 어닐링 공정을 통해 제조되고 반도체 산업에 사용되는 특수 유형의 석영 유리입니다. 이 석영 유리의 주요 특성에는 고순도, 낮은 하이드 록실 함량 및 고온 저항이 포함됩니다. 어닐링 공정은 석영 유리의 제조 공정의 핵심 단계로, 유리의 내부 응력을 제거하고 가열 및 냉각 공정을 통해 광학적 균일 성을 향상시킵니다.

정밀 어닐링 과정에서 석영 유리의 어닐링 과정은 가열 단계, 담그는 단계 및 냉각 단계의 여러 단계로 나뉩니다. 각 단계에는 특정 프로세스 매개 변수 및 목표가 있습니다. 가열 단계는 석영 유리를 어닐링 온도로 가열하는 것입니다. 담그는 단계는 유리의 내부 응력을 제거하고 구조를 더욱 균일하게 만드는 것입니다. 냉각 단계는 새로운 응력을 생성하지 않도록 석영 유리를 천천히 식히는 것입니다.

이 정밀 어닐링 공정을 통해 고성능 요구 사항을 충족하는 석영 유리를 생산할 수 있으며, 특히 반도체 제조, 특히 반도체 등급 실리콘 웨이퍼 산화, 확산 및 기타 공정에서 광범위한 응용 분야를 갖는다. 고급, 낮은 열 팽창 계수 및 고급 반도체 어닐링 공정으로 만든 석영 유리 튜브의 우수한 광학 특성은 반도체 제조 공정에서 필수 물질이됩니다.