|
50-600mm 石英ボート
Q: 高純度、低汚染、長寿命を確保しながら、高温や腐食性の環境でウェーハ、チップ、その他の精密部品を安定して搬送できるコンテナが必要です。石英ボートで問題は解決できますか?
答え: はい。当社の 50 ～ 600 mm 石英ボートは、半導体、太陽光発電、実験室、および高温プロセス向けに特別に設計されています。高純度の石英材料、精密機械加工プロセス、フルサイズのカスタマイズ機能を通じて、当社は高温耐荷重、化学的安定性、清浄度、サイズの適合性といったお客様の中核的なニーズを解決し、プロセスの信頼性と生産効率の向上を支援します。
製品概要
石英ボート は高純度石英ガラス製の耐荷重装置で、高温（最大1200℃）および腐食性の高いプロセス環境に適しています。当社の製品は直径 50mm ～ 600mm の範囲をカバーしており、さまざまな深さ、形状、パーティション設計のカスタマイズをサポートしています。これらは、半導体の拡散、酸化、アニーリング、太陽電池の焼結、実験室のサンプル処理、その他のシナリオで広く使用されています。
コアの強み
1. 高純度の材料
-純度99.99%以上の高純度珪砂を使用し、金属イオン含有量（Na、K、Feなど<1ppm）を低く抑え、プロセス材料の汚染を防ぎます。
●熱膨張係数が非常に低く(5.5×10⁻⁷/℃)、熱衝撃に強く、急激な温度変化にも耐えます。
2. 精密加工技術
- CNC 切断、レーザー溶接、ファイヤーポリッシュ技術を使用して、ボートの滑らかな表面 (Ra<0.8 μ m) とエッジに微小亀裂がないことを保証します。
●高温時の応力集中による変形や破壊を避けるため、均一な構造設計となっております。
3. 優れた化学的安定性
・フッ酸、塩酸、王水等の強腐食性媒体に対して耐性があります（フッ酸耐性濃度≦30％）。
●高温でもほとんどの酸や金属蒸気と反応せず、長期間使用しても劣化しません。
仕様とカスタマイズサービス
-標準サイズ範囲: 50mm、100mm、150mm、200mm、300mm、450mm、600mm (他のサイズもカスタマイズ可能)。
-深いカスタマイズ: 耐荷重材料の厚さとプロセススペースの要件に基づいて、10mm ～ 500mm の範囲でカスタマイズされた深さを提供します。
-構造のカスタマイズ: マルチスロット設計、キャッピング機能、ハンドル構造、底部滑り止めパターンなどをサポートします。
●表面処理： オプションでサンドブラスト、コーティング（防汚コーティング）、高透明研磨等。
典型的なアプリケーションシナリオ
1. 半導体産業
-ウェーハ拡散プロセス: シリコンウェーハを高温の炉管に運び、均一なウェーハ間隔と汚染のないことを保証します。
-チップパッケージ：エポキシ樹脂の硬化過程でブラケットとして使用され、耐熱性があり、洗浄が簡単です。
2. 太陽光発電産業
-太陽電池の焼結：高温酸化環境に耐えるベルトコンベア炉内で太陽電池を搬送します。
-薄膜堆積プロセス:PECVDおよびLPCVD装置のキャリアとして使用されます。
3. 実験室と研究
-高温サンプル処理：セラミック焼結、触媒試験など。
-腐食性実験容器: サンプルの汚染を避けるために金属製のキャリアを交換してください。
お客様の事例 (匿名)
-ケース 1: ドイツの半導体装置サプライヤーは、新しい拡散炉の研究開発のために 300mm スロットの石英ボートを購入します。当社は、スロット間隔とエッジ フィレット設計を最適化することで、お客様がウェーハの断片化率を 0.1% 未満に削減できるよう支援します。
-ケース 2: 日本の太陽光発電会社は、1 日あたり 1000 回の高温サイクルに耐える必要がある 450 mm のオープン石英ボートをカスタマイズしました。強化肉厚設計とアニーリングプロセスを採用し、製品の寿命を元の標準の 2 倍に延長します。
-ケース 3: 米国の研究室が高温腐食性ガス実験用にマルチスペックの石英ボート (100 ～ 200mm) を注文しました。当社では耐フッ酸コーティング処理を行っており、お客様から「汚染ゼロ」の声をいただいております。
クォーツボートの仕様やカスタマイズ内容についてさらに詳しい情報が必要な場合は、いつでもお気軽にお問い合わせください。お客様のプロセス要件に基づいて、独自のソリューションと迅速な見積りを提供します。
Luverre Quartz は 、溶融石英管、溶融石英プレート、溶融石英ロッド、溶融石英ウィンドウ、溶融石英るつぼ、溶融石英ボート、溶融石英フランジ、溶融石英ビーカー、溶融石英ガラス器具などを含む、幅広い高品質の溶融石英ガラスを製造および販売しています。溶融石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズ要求にお応えします。
詳細につきましては、お気軽にお問い合わせください。
なぜ私たちを選ぶのですか?
1.私たちはより経験豊富です。
当社は19年以上のクォーツ製品の製造経験があります。
2.私たちはより効率的です。
私たちはお客様のご要望に24時間以内にお答えし、高効率の生産、エンジニア、販売チームを擁しています。
3.当社の品質はより保証されています。
石英塊から石英砂、そして石英製品に至るまでの品質管理を行っており、他メーカーと比べてより厳格な品質管理を行っております。
4.より困難な石英製品の生産が可能です。
当社は大型の研削盤と精密エッチング機を備えており、大型の石英プレート、チューブ、高サイズの精密石英製品の生産が可能です。
5. 約20年の専門的経験
～四半世紀にわたり石英製品の製造に注力
-技術チームの平均勤務経験は10年を超えています
6.グローバルなサービスネットワーク
-当社の製品はヨーロッパ、アメリカ、日本、韓国、中東など40以上の国と地域に輸出されています。
-多言語テクニカルサポート（英語、ドイツ語、フランス語、スペイン語、ロシア語、日本語）
