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の分類 石英ボート には小型ボート、ロングボート、垂直ボートが含まれます。ロングボートは主に半導体および太陽エネルギー産業で使用され、そのうち垂直ボートは半導体産業で最もよく使用される製品です。


結晶シリコン太陽電池の製造においては、 石英ボートは シリコンウェーハを運ぶキャリアとして使用でき、特に各プロセスの高温環境において重要なベアリングの役割を果たします。石英ボートはかけがえのない役割さえ果たします。石英ボートは一般にシリコンウェーハの固定モデルにのみ使用でき、異なるシリコンウェーハは異なるものと適合する必要があります。 石英ボートは製造過程で定期的に交換する必要があります。


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