CVD炉透明な円筒形石英チューブ

CVD（化学蒸気堆積）炉で使用される透明な円筒形石英チューブは、半導体製造およびその他のハイテク産業に不可欠な成分です。これらの石英チューブの優れた光学透明性と優れた物理化学的特性により、高温および高純度の環境で正確な化学反応がスムーズに進行できるようになります。

材料特性

- 高純度シリカ：SIO2原料の99.99％以上の純度を使用すると、非常に低い金属不純物含有量が保証されます。これは、CVDプロセス中にガス環境の純度を維持するために不可欠です。

例外的な光透過率：目に見える光透過率の最大90％以上が、研究者が内部で起こっている化学変化を直接観察できるようにすることができます。これは、反応プロセスの監視に非常に役立ちます。

- 高温抵抗：CVDプロセスで一般的に見られる高温要件を満たすことなく、軟化や変形せずに1100°Cを超える動作温度に耐えることができます。

化学的不活性：ハロゲンや他の強力な酸化剤を含む環境でさえ、ほとんどの化学物質に対して良好な腐食耐性を示します。

低係数の熱膨張：これにより、加熱および冷却サイクル中の石英チューブの寸法安定性が保証され、温度変動による応力と割れのリスクが低下します。

デザイン機能

シームレスな構造：高度な溶融描画技術を使用して製造されているため、縫い目はなく、漏れのリスクを軽減し、全体的な強度を向上させます。

- 均一な壁の厚さ：全長にわたって同じ厚さを確保するため、反応条件を制御するのに役立ちます。

正確な寸法：幅広い標準仕様を提供しながら、直径、長さ、特別な形状など、さまざまな顧客のニーズを満たすためのカスタマイズサービスをサポートします。

アプリケーションシナリオ

CVD炉透明な円筒形石英チューブは、次の分野で広く使用されています。

半導体製造：シリコン、ガリウムアルセニドなどの高品質の単一または多結晶薄膜材料の栽培に使用されます。

- LED生産：GANベースの光発光ダイオードのエピタキシャル層成長に理想的な反応容器を提供します。

太陽光発電産業：ソーラーパネルの製造におけるコーティングプロセスに適しています。

科学研究：実験室条件下での新しい材料の探索のための実験原子炉として。

そのユニークな材料の特性と設計上の利点により、CVD炉の透明な円筒形石英チューブは、多くの先進的な製造業で不可欠で重要な部分になりました。効率的で安定した化学蒸気堆積プロセスを促進するだけでなく、研究者に直感的で便利な運用体験を提供します。