高純度拡散炉石英ガラスチューブ

高純度拡散炉石英ガラスチューブは、半導体製造プロセスで使用される重要な材料です。このタイプのクォーツガラスチューブは、半導体、光学装置、通信、太陽エネルギーなどの産業では、純度が高く、汚染がない、高温耐性があるため不可欠です。半導体業界では、これらの石英チューブは主に拡散炉で使用されており、高温で化学的安定性と物理的完全性を維持できるため、半導体材料の処理と処理に理想的な選択肢となります。

拡散炉で使用される石英ガラス管は、通常、55〜90ミリメートルの間で直径、1500〜2000ミリメートルの長さです。これらのクォーツチューブは、高温および腐食性環境で安定性を維持し、均一な気流と反応を確保し、半導体製造プロセスの品質と効率に大きな影響を与えます。

さらに、石英ガラス製品は、主に高純度、高い透明性、および石英ガラスの熱安定性が高いため、処理中に非常に高い環境要件を持っています。加工環境は、ほこりや粒子などの汚染物質による石英ガラス製品の汚染を避けるために、非常に高い清潔さを実現する必要があります。半導体技術およびその他の分野で使用される石英ガラス製品の場合、作業環境には1000〜5000の空気浄化レベルが必要です。同時に、処理環境の温度と湿度も、石英ガラス製品の性能が影響を受けないようにするために厳密に制御する必要があります。

石英ガラス製品のこれらの特性により、半導体デバイス、半導体石英基板、半導体石英材料、およびその他のフィールドで広く使用されている半導体機器のトップガラス材料になります。