高純度半導体反応容器石英ガラスパイプ

高純度半導体反応容器石英ガラスパイプは、主に半導体産業の高温反応容器に使用される特別な工業技術ガラスです。

材料の特性： 高純度半導体反応容器石英ガラスパイプは、主に二酸化シリコンで構成されており、高純度、高温抵抗、酸抵抗、低膨張、優れたスペクトル透明などの特別な物理的特性を備えています。これらの特性により、石英ガラスは、キャリア材料のアルカリ金属と重金属の含有量について、半導体産業の厳しい要件を満たすことができます。

アプリケーションエリア： 半導体業界では、これらのクォーツガラスパイプは、シリコンウェーハ製造およびウェーハの製造プロセスで広く使用されています。たとえば、シリコンウェーハの製造プロセスでは、クォーツガラス製品は主にウェーハICキャリアのクォーツ十字架を作るために使用されます（単結晶を引く）。酸化、エピタキシー、フォトリソグラフィ、エッチング、拡散、CVD、イオン着床、研削などのウェーハの製造と処理の過程で、石英ガラスは、高純度、高温抵抗、低熱膨張、耐食性などの優れた特性のために広く使用されています。

製造プロセス： 高純度半導体反応容器クォーツガラスパイプの製造プロセスには、クォーツサンド、発泡剤、白いカーボンブラック、およびその他の原材料が特定の割合で、加熱および形成が含まれ、30 g/gを超えない総不純物含有量が含まれます。これらのプロセスにより、クォーツガラスの高い純度と優れた性能が保証されます。

その他の用途： 半導体産業での使用に加えて、石英ガラスパイプなどの高純度の半導体反応容器は、実験室および産業用高温反応で広く使用されています。

高純度の半導体反応容器である石英ガラスパイプは、半導体業界で重要な役割を果たします。それらのユニークな材料特性と製造プロセスにより、それらは高温反応プロセスに理想的な選択肢となっています。