高純度透明石英ボート実験器具
高純度の 透明石英ボート は、実験室や工業用の高温環境向けに特別に設計された精密機器です。高純度溶融シリカ(SiO ₂)製で、耐高温性、化学的安定性、光透過性に優れています。
コア機能
-高純度材料: SiO 2 含有量 ≥ 99.99%、汚染がなく、高精度の実験に適しています。
-高温耐性: 1200℃を超える温度に耐えることができ、変形や結晶化することなく短期間の使用では1450℃に達することができます。
-化学的不活性: 酸およびアルカリ腐食に耐性があり、ほとんどの化学試薬と反応せず、腐食環境に適しています。
・熱膨張係数が低い: 熱安定性に優れ、急激な温度変化による破壊を防ぎます。
-光学的透明性: 透過率が高く、実験プロセスを観察しやすく、光学および半導体産業に適しています。
アプリケーション
-半導体製造
-太陽光発電産業(太陽電池)
- 材料科学 (高温焼結、CVD/PVD コーティング)
・化学分析(高温反応、腐食環境)
・研究室(高温熱処理、結晶成長)

製品の用途
石英ボートはその優れた性能から多分野で幅広く使用されています。一般的なアプリケーション シナリオは次のとおりです。
(1) 半導体産業
-ウェハ処理:シリコンウェハを搬送し、高温の拡散、酸化、アニーリングなどのプロセス中に安定性を維持するために使用されます。
- CVD (化学蒸着): 反応チャンバー内のキャリアツールとして、高温に耐性があり、蒸着プロセスに影響を与えません。
(2) 太陽光発電産業
-太陽電池製造: 高温焼結、コーティング、その他のプロセスにおいて、石英ボートは無公害を保証し、電池効率を向上させることができます。
(3) 材料科学研究
・高温焼結:セラミックスや金属粉末などの材料の高温処理に適しています。
-結晶成長:単結晶シリコン、サファイアなどの結晶の成長プロセスに使用されます。
(4) 化学分析
-高温反応容器:酸やアルカリの腐食に強く、強酸や強アルカリ環境での化学反応に適しています。
・サンプル搬送:高温炉やマッフル炉内でのサンプルを安定して搬送し、汚染を防ぎます。

カスタマイズされたサービス
当社は、さまざまな顧客の特別なニーズを満たすために、柔軟なクォーツボートのカスタマイズサービスを提供しています。
(1) サイズカスタマイズ
-お客様のニーズに応じて、さまざまな長さ、幅、深さの石英ボートをカスタマイズできます。
-マルチスロット設計をサポートし、バッチサンプル処理に適しています。
(2)形状のカスタマイズ
-標準的なU字形、V字形、平板など、特殊なプロセス要件に応じて異形構造も設計できます。
(3) 表面処理
●平滑度の高い研磨によりパーティクルの吸着を軽減します。
-特殊コーティング(帯電防止コーティングなど)は、非常に敏感な実験環境に適しています。
(4) 付属品の組み合わせ
-石英ブラケット、石英カバープレートなどと組み合わせて、完全な高温実験システムを形成できます。

製品が解決できる問題
1. 高温環境における安定性の問題: 通常のガラスや金属製の容器は高温で変形やサンプルの汚染が起こりやすいのに対し、石英ボートは1200℃以上の温度でも安定して動作します。
2. 化学汚染問題: 高純度石英は金属イオン汚染を回避し、半導体や太陽光発電などの高精度産業に適しています。
3. 観察要件: 透明な石英素材により、実験プロセスのリアルタイム監視が容易になり、実験の制御性が向上します。
4.耐食性要件: 強酸、強アルカリ、または高反応性ガス環境下でも安定性を維持し、耐用年数を延長できます。
当社の高純度透明石英ボートは、その優れた高温耐性、化学的安定性、カスタマイズの柔軟性により、半導体、太陽光発電、材料科学などの分野で理想的な選択肢となっています。標準製品であっても、特別なカスタマイズであっても、当社はお客様の実験や工業生産をより効率的かつ正確に行うためのプロフェッショナルなソリューションを提供できます。
さらに詳しく知りたい場合やニーズをカスタマイズする必要がある場合は、いつでもお気軽にお問い合わせください。

ルベールクォーツは 、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、幅広い高品質の石英ガラスを製造・販売しています。石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズのご要望にお応えいたします。
詳細につきましては、お気軽にお問い合わせください。
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