現在、るつぼ製造コーティング技術は、通常の珪砂からなるるつぼの表面に二酸化バリウム溶液の層をコーティングして緻密な層を形成するという、るつぼ製造コーティング技術がほとんどのメーカーで使用されています。その緻密な層は、単結晶シリコンの高温引抜きプロセス中にシリコンが石英るつぼと反応するのを防ぎ、結晶化速度を高めることができます。次に、導入と現地視察について見ていきましょう。 石英るつぼ.
コンテンツリストは次のとおりです。
石英るつぼの紹介。
石英るつぼのフィールド検出。
1. 石英るつぼは 1450度以下で使用でき、透明と不透明に分けられます。アーク法で作られる半透明の石英るつぼは、大口径単結晶シリコンの引上げや大規模集積回路の開発に欠かせない基礎材料です。現在、世界の半導体産業の先進国は、小型の透明な石英るつぼをこのるつぼに置き換えています。高純度、強い耐熱性、大型で高精度、優れた保温性、省エネ性、安定した品質などの利点があります。
2. HF と接触することはできません。高温では、苛性アルカリやアルカリ金属炭酸塩と非常に簡単に反応します。
3. 石英るつぼは、フラックスとして K2S2O7 および KHSO4 を使用してサンプルを溶解したり、フラックスとして Na2S2O7 (最初に 212 度で乾燥) を使用してサンプルを処理したりするのに適しています。
4. 石英は脆くて割れやすいため、ご使用の際は十分にご注意ください。
5. 洗浄液としてはHFのほか、一般の希無機酸も使用できます。中国では単結晶シリコンの引き上げに 18 インチ、20 インチ、22 インチの石英るつぼが一般的に使用されており、一部のメーカーは 22 以上のるつぼを使用しています。現在、国内の大手るつぼメーカーが生産するるつぼ技術は比較的成熟しています。製造に使用される原料の珪砂は米国から、高純度の珪砂はノルウェーから輸入されています。国産の材料を使用して石英るつぼを製造する小規模工場もありますが、これは単結晶シリコンの引上げ時の安定性に一定の影響を与えます。
石英るつぼは 、高純度、強い耐熱性、大型で高精度、優れた保温性、省エネ性、安定した品質などの利点があり、ますます広く使用されています。石英るつぼの検出は非常に重要なリンクであり、石英るつぼの検出は現場での検出の方向に向かって発展しています。
中国における従来の石英るつぼの検出では、一般に比較的大型の顕微鏡やその他の検出機器が使用され、主に実験室で石英るつぼを検出します。石英るつぼの実験室でのテストは、製品の品質に大きく貢献しています。しかし、石英るつぼの試験は製品が大きいため、ラボでの試験を現場に持ち込むのが難しく、価格も比較的高価です。したがって、多くの石英るつぼ工場ではこの実験室試験装置が普及していません。
石英るつぼメーカーが直面するこれらの問題に対しては、ポータブル デジタル顕微鏡を使用する方が実験室の試験装置よりもはるかに安価です。石英るつぼの試験はいつでもどこでも行うことができ、石英るつぼの試験結果は写真やビデオを撮影することでリアルタイムに記録できるため、石英るつぼの室内試験の欠点を補うことができます。