低膨張係数クォーツロッド

低膨張係数クォーツロッドは、室温範囲で熱膨張膨張係数がほぼゼロの特別なタイプの石英材料です。つまり、温度が変化するときに体積が変化しないことを意味します。この特性により、低膨張係数クォーツロッドは、宇宙ベースの宇宙望遠鏡や半導体リソグラフィ装置の光学成分などのフィールドで使用される、リフレクター、レーザー共振器、その他のコンポーネントなどの精密光学システムに重要な用途を持っています。

このクォーツロッドの製造プロセスは比較的複雑であり、準備のためにドーピング含有量を正確に制御する必要があります。たとえば、四塩化シリコンと四塩化チタンを原料として使用すると、二酸化チタンは、ドーピング含有量の正確な制御を実現するために、化学蒸気堆積（CVD）法を介して石英ガラス基板に均一にドープされます。室温での調製された超低膨張石英ガラスの熱膨張係数は、-90±20×10 ^ -6/℃です。

低膨張係数クォーツロッドは、高い技術的要件と幅広いアプリケーションの見通しを備えた石英材料です。その正確な製造プロセスとユニークな物理的特性により、複数の高精度と最先端の分野で重要な役割が果たされます。

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