低膨張係数石英ロッド
低膨張率石英ロッドは、室温域での熱膨張率がほぼゼロである特殊な石英素材であり、温度が変化しても体積変化がほとんどありません。この特性により、低膨張係数の石英ロッドは、宇宙望遠鏡や半導体リソグラフィー装置の光学部品などの分野で使用される反射鏡、レーザー共振器、その他の部品などの精密光学システムで重要な用途に使用されています。

この石英ロッドの製造プロセスは比較的複雑で、準備のためにドーピング内容を正確に制御する必要があります。例えば、原料として四塩化ケイ素と四塩化チタンを使用し、化学気相成長(CVD)法により二酸化チタンを石英ガラス基板に均一にドーピングし、ドーピング量を精密に制御します。作製した超低膨張石英ガラスの室温での熱膨張係数は-90±20×10^-6/℃未満です。

低膨張係数石英ロッドは、高い技術要件と幅広い用途の見通しを備えた石英材料です。その精密な製造プロセスと独特の物性により、さまざまな高精度かつ最先端の分野で重要な役割を果たしています。
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