マイクロエレクトロニック回路用の石英ロッド

マイクロエレクトロニクス回路用の石英ロッドは、半導体産業の重要な原材料であり、主に半導体積分回路チップの生産プロセスで使用されます。クォーツロッドは、高温抵抗、低熱膨張係数、優れた透明性、良好な電気断熱、腐食抵抗など、さまざまな優れた物理的および化学的特性を備えた高純度石英材料で作られています。

半導体生産プロセスでは、クォーツロッドは、主に拡散プロセスやエッチングプロセスなどの高温領域で使用されます。これらのクォーツロッドは、半導体産業、特にウェーハ拡散や酸化などの高温治療を必要とするプロセスで重要な役割を果たします。

クォーツロッドを作るための主な材料は、高純度の石英ガラスです。これは、天然石英加工または人工合成の2つの方法で調製できます。その中でも、電気融解方法は主に半導体拡散などの高温領域で使用されていますが、ガス融解方法はエッチングなどの低温プロセスで使用されます。

さらに、クォーツロッドには、マイクロエレクトロニクス分野に限定されず、太陽光発電、光学、光学繊維、新しい電気光源、金属、化学工学などの複数のハイテク分野も含まれています。

マイクロエレクトロニクス回路用の石英ロッドは、半導体産業にとって高純度で高性能の原材料であり、半導体積分回路チップの生産プロセスで広く使用され、複数のハイテクフィールドで重要な役割を果たすことです。

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