반도체 웨이퍼 처리 도구 2-100mm 쿼츠로드

2-100mm 쿼츠로드는 반도체 웨이퍼 처리 도구로서 특정 응용 분야와 특성을 갖습니다.

응용 영역 : 반도체 등급 석영 막대는 주로 석영 구성 요소의 기본 재료로 사용되며 반도체 웨이퍼 제조 공정에서 중요한 역할을합니다. 이 쿼츠로드는 단일 계정 실리콘 웨이퍼 제조 및 웨이퍼 제조의 두 가지 주요 공정에서 널리 사용됩니다.

제품 특징 : 반도체 등급 석영 막대는 순도가 높고 하이드 록실 함량이 낮고 고온 저항성이 있습니다. 이러한 특성을 통해 반도체의 정확한 처리 중에 안정성과 신뢰성을 유지할 수 있습니다. 예를 들어, 고온 저항은 반도체 제조 공정에서 고온 환경을 견딜 수 있습니다.

제품 사양 : 이 석영 막대의 직경 범위는 10mm ~ 100mm이며 외경 편차, 타원 및 곡률에 대한 엄격한 표준이 있습니다. 예를 들어, 직경이 10.00mm에서 20.00mm 인 석영 막대의 경우, 외경 편차와 타원은 1.25%내에서 제어되며 곡률은 0.15%입니다.

반도체 처리에서의 적용 : 쿼츠로드는 세정, 산화, 포토 리소그래피, 에칭 및 확산과 같은 반도체 웨이퍼의 처리 중에 여러 주요 단계에서 사용됩니다. 이 단계는 고품질 반도체 제품을 제조하는 데 중요합니다.

2-100mm 쿼츠로드는 반도체 웨이퍼 처리에서 중요한 역할을하며, 고순도와 고온 저항은이 정밀도 프로세스에 이상적인 선택입니다.

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