반도체 웨이퍼 가공 도구 2-100mm 석영 막대

반도체 웨이퍼 처리 도구인 2-100mm 석영 막대는 특정 용도와 특성을 가지고 있습니다.

응용 분야: 반도체 등급 석영 로드는 주로 석영 부품의 기본 재료로 사용되며 반도체 웨이퍼 제조 공정에서 중요한 역할을 합니다. 이 석영 막대는 단결정 실리콘 웨이퍼 제조와 웨이퍼 제조라는 두 가지 주요 공정에 널리 사용됩니다.

제품 특징: 반도체 등급 석영 막대는 순도가 높고 수산기 함량이 낮으며 내열성이 높습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체의 정밀 가공 중에 안정성과 신뢰성을 유지할 수 있습니다. 예를 들어, 높은 내열성은 반도체 제조 공정 중 고온 환경을 견딜 수 있습니다.

제품 사양: 이 석영 막대의 직경 범위는 10mm ~ 100mm이며 외경 편차, 타원율 및 곡률에 대한 엄격한 기준이 적용됩니다. 예를 들어, 직경이 10.00mm에서 20.00mm 사이인 석영 막대의 경우 외경 편차와 타원율은 1.25% 이내로 제어되고 곡률은 0.15%입니다.

반도체 처리에 적용: 석영 로드는 세척, 산화, 포토리소그래피, 에칭 및 확산과 같은 반도체 웨이퍼 처리 중 여러 주요 단계에 사용됩니다. 이러한 단계는 고품질 반도체 제품을 제조하는 데 중요합니다.

2-100mm 석영 막대는 반도체 웨이퍼 처리에서 중요한 역할을 하며, 높은 순도와 높은 온도 저항으로 인해 이 정밀 공정에 이상적인 선택입니다.

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