半導体ウェーハ処理ツール2-100mmクォーツロッド

2-100mmクォーツロッドは、半導体ウェーハ処理ツールとして、特定のアプリケーションと特性を持っています。

アプリケーション領域： 半導体グレードの石英ロッドは、主に石英コンポーネントの基本材料として使用され、半導体ウェーハ製造プロセスで重要な役割を果たします。これらのクォーツロッドは、2つの重要なプロセスで広く使用されています：単結晶シリコンウェーハ製造とウェーハ製造。

製品の特徴： 半導体グレードの石英ロッドは、純度が高く、ヒドロキシル含有量が少なく、高温抵抗があります。これらの特性により、半導体の正確な処理中に安定性と信頼性を維持できます。たとえば、それらの高温抵抗は、半導体製造プロセス中に高温環境に耐えることができます。

製品の仕様： これらのクォーツロッドの直径範囲は10mmから100mmで、外径偏差、楕円率、曲率の厳格な標準があります。たとえば、直径が10.00mmから20.00mmのクォーツロッドの場合、外径偏差と楕円率は1.25％以内で制御され、曲率は0.15％です。

半導体処理におけるアプリケーション： クォーツロッドは、洗浄、酸化、フォトリソグラフィ、エッチング、拡散などの半導体ウェーハの処理中に複数のキーステップで使用されます。これらの手順は、高品質の半導体製品の製造に不可欠です。

2-100mmクォーツロッドは、半導体ウェーハ処理に重要な役割を果たし、その高純度と高温抵抗により、この精密プロセスに理想的な選択肢になります。

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