Устойчивость к высоким температурам, коррозии и Кварцевая лодка без озона представляет собой основной полупроводниковый и фотоэлектрический носитель, изготовленный из кварцевого стекла высокой чистоты (99%), обработанного с точностью и специальными методами. Он не только обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам (до 1100 ℃ в долгосрочной перспективе и 1450 ℃ в краткосрочной перспективе) и стойкостью к кислотно-щелочной коррозии, но также эффективно подавляет образование озона в результате фотохимических реакций посредством специальной обработки УФ-фильтрацией. Являясь идеальным носителем для пластин и кремниевых пластин в процессах высокотемпературной диффузии, окисления и отжига, он идеально сочетает в себе чрезвычайно высокую химическую чистоту, структурную стабильность и экологическую безопасность.

Часто задаваемые вопросы

В1: Что такое кварцевая лодка, не содержащая озона? Чем она отличается от обычной кварцевой лодочки?

Ответ: Обычное прозрачное кварцевое стекло имеет очень высокий коэффициент пропускания ультрафиолетового света ниже 260 нм, что позволяет легко катализировать кислород в воздухе для производства озона под воздействием сильных источников ультрафиолетового света (например, определенного оборудования для отверждения и обнаружения). Безозоновые кварцевые лодочки эффективно блокируют передачу коротковолнового ультрафиолетового света посредством специальных процессов легирования материалов или нанесения покрытий, тем самым подавляя образование озона, что делает их особенно подходящими для прецизионных мастерских со строгими требованиями к чистоте в производственных средах.

В2: Будут ли кварцевые лодки деформироваться после длительной эксплуатации при высоких температурах 1200 ℃?

А: Я не буду. Наша кварцевая лодочка изготовлена ​​из высококачественного кварцевого сырья высокой чистоты, с температурой размягчения до 1730 ℃ и длительной рабочей температурой до 1100 ℃. Он может выдержать даже 1450 ℃ за короткий период времени. Коэффициент теплового расширения кварцевого стекла чрезвычайно низок (5,5 × 10 ⁻⁷/℃), и оно может сохранять превосходную стабильность размеров и структурную прочность даже при резких изменениях температуры, что делает его менее склонным к изгибу или взрыву.

В3: Какие характеристики и размеры вы поддерживаете для настройки? Каков минимальный допуск на расстояние между пазами, которым можно управлять?

О: Мы предоставляем комплексные услуги по индивидуальной настройке, поддерживая настройку в соответствии с размером печи, размером пластины клиента (например, 6 дюймов, 8 дюймов, 12 дюймов и т. д.). Мы можем обрабатывать вертикальные лодки, горизонтальные лодки и лодки неправильной формы. Благодаря высокоточной обработке с ЧПУ и процессам газовой полировки мы можем стабильно контролировать допуск на расстояние между канавками кварцевой лодочки в пределах ± 0,01 мм, обеспечивая точную и параллельную загрузку пластин.

Требования и решение проблем

Для пользователей в полупроводниковой, фотоэлектрической и химической промышленности, если чистота носителя в высокотемпературных процессах недостаточна, это приведет к прямому загрязнению пластины и приведет к снижению выхода; Если термостойкость и коррозионная стойкость недостаточны, это приведет к частой деформации и растрескиванию корпуса лодки, увеличивая стоимость остановки производства и замены. Наша высокотемпературная, устойчивая к коррозии и не содержащая озона кварцевая лодка идеально решает основные проблемы традиционных транспортных средств, склонных к загрязнению, деформации и образованию вредного озона в условиях высоких температур, сильной кислотно-щелочной среды и сильного УФ-излучения, обеспечивая максимальную чистоту, стабильность и гарантии безопасности для ваших высокотемпературных процессов.

Основные преимущества и ценность приложения

Максимальная устойчивость к высоким температурам и термическая стабильность.

Сверхвысокая термостойкость: температура размягчения составляет около 1730 ℃, и он может работать непрерывно в течение длительного времени при температуре 1100 ℃. Кратковременная предельная термостойкость может достигать 1450 ℃, что идеально адаптируется к высокотемпературной среде различных диффузионных печей и окислительных печей.

Сильная термостойкость: чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения позволяет ему выдерживать резкие изменения охлаждения и нагрева (например, прямое погружение в воду комнатной температуры от 1100 ℃), не разрушаясь, что значительно продлевает срок его службы.

Отличная коррозионная стойкость и высокая чистота.

Химическая инертность: за исключением плавиковой кислоты и горячей фосфорной кислоты при температуре выше 300 ℃, он обладает чрезвычайно высокой устойчивостью к большинству сильных кислот (таких как соляная кислота, азотная кислота, серная кислота, царская водка), сильным основаниям и галогенным газам. Его кислотостойкость в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали.

Сверхнизкое загрязнение: при использовании кварцевого сырья чистотой более 99,99% содержание металлических примесей чрезвычайно низкое, а примеси не выпадают в осадок и не загрязняют пластину или реагенты во время высокотемпературных процессов, обеспечивая высокий выход продукта.

Экологичность, отсутствие озона и отличные оптические/электрические характеристики.

Подавление озона: специальная формула, не содержащая озона, эффективно отфильтровывает коротковолновые ультрафиолетовые лучи, предотвращая образование озона во время процессов фотолитографии, обнаружения или УФ-отверждения, защищая здоровье персонала мастерской и точного оборудования.

Изоляция и прозрачность: Обладая чрезвычайно высоким значением сопротивления (в десять тысяч раз выше, чем у обычного стекла), это превосходный высокотемпературный электроизоляционный материал; В то же время он имеет чрезвычайно высокий коэффициент пропускания как в видимом, так и в инфракрасном диапазоне волн, что позволяет легко визуально наблюдать во время производственного процесса.

Гибкие индивидуальные услуги по обработке

Разнообразные формы: мы можем предоставить различные формы, такие как диффузионные лодочки, лодочки для окисления, лодочки для LPCVD и корзины для чистки цветов, поддерживающие вертикальные, горизонтальные и многослойные конструкции.

Прецизионная механическая обработка: поддерживает глубокую обработку, такую ​​как прорезь, штамповка, снятие фасок, сварка, газовая полировка и т. д. Мы можем обеспечить точное соответствие размеров как цельных несущих, так и серийных лодок.

Совместное использование заявок клиентов

Случай 1: Модернизация диффузионного процесса известного производителя фотоэлектрических элементов

Проблема клиента: В процессе диффузии фосфора фотоэлектрических элементов обычная кварцевая лодочка, первоначально использовавшаяся клиентом, склонна к кристаллизации и образованию микротрещин на поверхности в кислой газовой среде при температуре выше 1000 ℃ в течение длительного времени, что приводит к застреванию и фрагментации кремниевой пластины при входе и выходе из трубы печи. При этом срок эксплуатации лодки составляет менее полугода, что серьезно влияет на бесперебойность работы производственной линии.

Решение: Мы изготовили для него партию кварцевых лодочек высокой чистоты, устойчивых к коррозии и не содержащих озона. Для конструкции печной трубы была разработана оптимизированная структура ребер жесткости, чтобы повысить ее несущую способность при высоких температурах, а для всех канавок, контактирующих с кремниевой пластиной, была применена высокоточная обработка пламенной полировкой, чтобы обеспечить гладкую поверхность без заусенцев.

Эффект от применения: после замены новой кварцевой лодочки уровень фрагментации производственной линии клиента снизился более чем на 30%. В высокоагрессивной среде кварцевая лодочка сохраняет хорошую структурную целостность даже после непрерывного использования в течение более 10 месяцев без какого-либо кристаллизационного загрязнения, что значительно снижает затраты на замену расходных материалов и обслуживание простоев для клиентов.

Случай 2: Специальный эксперимент по окислению в НИИ полупроводников.

Задача заказчика: при проведении экспериментов по окислению новых полупроводниковых материалов исследовательской группе необходимо использовать сильный источник ультрафиолетового света для вспомогательного катализа. Оригинальная прозрачная кварцевая лодочка под сильным ультрафиолетовым излучением генерирует большое количество озона, который не только разъедает металлическую арматуру вокруг трубы печи, но и представляет потенциальную угрозу для дыхательной системы экспериментального персонала.

Решение: Мы разработали специальную безозоновую кварцевую лодочку для экспериментальной печи заказчика, исходя из ее размера. Лодка эффективно блокирует коротковолновое ультрафиолетовое излучение и использует превосходную электрическую изоляцию из кварцевого стекла, чтобы обеспечить безопасность экспериментов в условиях высокотемпературного электрического поля.

Эффективность применения: после использования кварцевой лодочки, не содержащей озона, концентрация озона в экспериментальной камере упала ниже стандарта безопасности, что полностью решило проблемы загрязнения окружающей среды и коррозии оборудования. Точная конструкция пазов (с допуском ± 0,01 мм) также обеспечивает температурную однородность экспериментальных образцов, помогая исследовательской группе получать более точные и воспроизводимые экспериментальные данные.

Если у вас есть индивидуальные потребности в кварцевых лодках, устойчивых к высоким температурам, коррозии и озону, или вас беспокоит срок службы и производительность высокотемпературных транспортных средств, пожалуйста, свяжитесь с нами в любое время! Будь то закупка стандартных спецификаций или сложные индивидуальные проекты на основе чертежей, мы искренне предоставим вам самые профессиональные решения по кварцевой продукции.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного плавленого кварцевого стекла, включая трубки из плавленого кварца, пластины из плавленого кварца, стержни из плавленого кварца, окна из плавленого кварца, тигли из плавленого кварца, лодочки из плавленого кварца, фланцы из плавленого кварца, стаканы из плавленого кварца, инструменты из плавленого кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из плавленого кварцевого стекла.

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами.