Bestand tegen hoge temperaturen, corrosiebestendig en Ozonvrije kwartsboot is een halfgeleider- en fotovoltaïsch dragergereedschap gemaakt van hoogzuiver kwartsglas (99%), verwerkt met precisie en speciale technieken. Het heeft niet alleen een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen (tot 1100 ℃ op de lange termijn en 1450 ℃ op de korte termijn) en corrosiebestendigheid tegen zure alkaliën, maar remt ook effectief de vorming van ozon door fotochemische reacties door middel van een speciale UV-filterbehandeling. Als ideale drager voor wafers en siliciumwafels bij diffusie-, oxidatie- en gloeiprocessen bij hoge temperaturen, biedt het een perfecte balans tussen extreem hoge chemische zuiverheid, structurele stabiliteit en milieuveiligheid.

Veelgestelde vragen

Vraag 1: Wat is een 'ozonvrije' kwartsboot? Wat is het verschil tussen deze boot en een gewone quartzboot?

A: Gewoon transparant kwartsglas heeft een zeer hoge transmissie van ultraviolet licht onder de 260 nm, waardoor het gemakkelijk is om zuurstof in de lucht te katalyseren om ozon te produceren onder sterke ultraviolette lichtbronnen (zoals bepaalde uithardings- en detectieapparatuur). Ozonvrije kwartsboten blokkeren effectief de transmissie van kortegolf-ultraviolet licht door middel van speciale materiaaldoterings- of coatingprocessen, waardoor de vorming van ozon wordt onderdrukt, waardoor ze bijzonder geschikt zijn voor precisiewerkplaatsen met strenge eisen voor reinheid in productieomgevingen.

Vraag 2: Zullen kwartsboten vervormen na langdurig gebruik bij hoge temperaturen van 1200 ℃?

EEN: Dat zal ik niet doen. Onze kwartsboot is gemaakt van hoogwaardige, zeer zuivere kwartsgrondstoffen, met een verwekingspunt tot 1730 ℃ en een langdurige werktemperatuur tot 1100 ℃. Hij kan in korte tijd zelfs 1450 ℃ weerstaan. De thermische uitzettingscoëfficiënt van kwartsglas is extreem laag (5,5 x 10 ⁻⁷/℃) en kan een uitstekende maatvastheid en structurele sterkte behouden, zelfs onder drastische temperatuurveranderingen, waardoor het minder gevoelig is voor buigen of ontploffen.

Vraag 3: Welke specificaties en maten ondersteunt u voor maatwerk? Wat is de minimale tolerantie voor de sleufafstand die kan worden gecontroleerd?

A: Wij bieden uitgebreide maatwerkdiensten, ter ondersteuning van maatwerk op basis van de ovenbuisgrootte van de klant, de wafelgrootte (zoals 6 inch, 8 inch, 12 inch, enz.). Wij kunnen verticale boten, horizontale boten en onregelmatige boten verwerken. Door middel van uiterst nauwkeurige CNC-bewerkings- en vlampolijstprocessen kunnen we de tolerantie van de groefafstanden van de kwartsboot stabiel controleren binnen ± 0,01 mm, waardoor een nauwkeurige en parallelle waferlading wordt gegarandeerd.

Vereisten en probleemoplossing

Voor gebruikers in de halfgeleider-, fotovoltaïsche en hoogwaardige chemische industrie geldt dat als de zuiverheid van de drager bij processen bij hoge temperaturen niet voldoende is, de wafer rechtstreeks wordt verontreinigd en tot een afname van de opbrengst zal leiden; Als de hittebestendigheid en corrosiebestendigheid onvoldoende zijn, zal dit leiden tot frequente vervorming en barsten van de romp van de boot, waardoor de kosten van stopzetting en vervanging van de productie toenemen. Onze hoge temperatuur, corrosiebestendige en ozonvrije kwartsboot lost perfect de kernproblemen op van traditionele voertuigen die gevoelig zijn voor vervuiling, vervorming en schadelijke ozonontwikkeling bij hoge temperaturen, sterke zuurbases en sterke UV-omgevingen, en biedt ultieme zuiverheid, stabiliteit en veiligheidsgaranties voor uw processen bij hoge temperaturen.

Kernvoordelen en toepassingswaarde

Ultieme hoge temperatuurbestendigheid en thermische stabiliteit

Ultrahoge temperatuurbestendigheid: het verwekingspunt bedraagt ​​ongeveer 1730 ℃ en kan lange tijd continu werken in een omgeving van 1100 ℃. De ultieme temperatuurbestendigheid op korte termijn kan 1450 ℃ bereiken, wat zich perfect aanpast aan de hoge temperatuuromgeving van verschillende diffusieovens en oxidatieovens.

Sterke thermische schokbestendigheid: Dankzij de extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt is het bestand tegen ernstige, snelle veranderingen in koeling en verwarming (zoals directe onderdompeling in water op kamertemperatuur vanaf 1100 ℃) zonder te barsten, waardoor de levensduur aanzienlijk wordt verlengd.

Uitstekende corrosieweerstand en hoge zuiverheid

Chemische inertie: Behalve fluorwaterstofzuur en heet fosforzuur boven 300 ℃, heeft het een extreem sterke weerstand tegen de meeste sterke zuren (zoals zoutzuur, salpeterzuur, zwavelzuur, aqua regia), sterke basen en halogeengassen. De zuurbestendigheid is 30 keer die van keramiek en 150 keer die van roestvrij staal.

Ultra lage vervuiling: Door gebruik te maken van kwartsgrondstoffen met een zuiverheid van meer dan 99,99% is het gehalte aan metaalonzuiverheden extreem laag en zullen onzuiverheden de wafer of reactanten niet neerslaan en vervuilen tijdens processen bij hoge temperaturen, waardoor een hoge productopbrengst wordt gegarandeerd.

Milieuvriendelijk, ozonvrij en uitstekende optische/elektrische prestaties

Remming van ozon: De speciale ozonvrije formule filtert effectief kortegolf-ultraviolette stralen uit, waardoor de vorming van ozon tijdens fotolithografie-, detectie- of UV-uithardingsprocessen wordt vermeden, waardoor de gezondheid van werkplaatspersoneel en precisieapparatuur wordt beschermd.

Isolatie en transparantie: Met een extreem hoge weerstandswaarde (tienduizend keer die van gewoon glas) is het een uitstekend elektrisch isolatiemateriaal voor hoge temperaturen; Tegelijkertijd heeft het een extreem hoge transmissie in zowel zichtbare als infrarode golflengten, waardoor het gemakkelijk visueel waar te nemen is tijdens het productieproces.

Flexibele verwerkingsdiensten op maat

Diverse vormen: We kunnen verschillende vormen leveren, zoals diffusieboten, oxidatieboten, LPCVD-boten en schoonmaakbloemenmanden, ter ondersteuning van verticale, horizontale en meerlaagse structurele ontwerpen.

Precisiebewerking: ondersteunt diepgaande bewerkingen zoals gleufsteken, ponsen, afschuinen, lassen, vlampolijsten, enz. We kunnen nauwkeurige maatafstemming bieden voor zowel dragende boten uit één stuk als voor massaproductieboten.

Het delen van klantapplicaties

Geval 1: Upgrade van het diffusieproces van een bekende fabrikant van fotovoltaïsche cellen

Klantprobleem: Bij het fosfordiffusieproces van fotovoltaïsche cellen is de gewone kwartsboot die oorspronkelijk door de klant werd gebruikt, gedurende lange tijd gevoelig voor kristallisatie en microscheuren op het oppervlak in een zure gasomgeving boven 1000 ℃, waardoor de siliciumwafel vastloopt en gefragmenteerd raakt bij het binnenkomen en verlaten van de ovenbuis. Bovendien is de levensduur van de boot minder dan een half jaar, wat de continue werking van de productielijn ernstig beïnvloedt.

Oplossing: We hebben er een partij zeer zuivere, corrosiebestendige, ozonvrije kwartsboten voor gemaakt. Er werd een geoptimaliseerde versterkende ribbenstructuur ontworpen voor de ovenbuisstructuur om het draagvermogen bij hoge temperaturen te vergroten, en er werd een zeer nauwkeurige vlampolijstbehandeling toegepast op alle groeven die in contact kwamen met de siliciumwafel om een ​​glad en braamvrij oppervlak te garanderen.

Toepassingseffect: na vervanging van de nieuwe kwartsboot daalde de fragmentatiesnelheid van de productielijn van de klant met meer dan 30%. In een zeer corrosieve omgeving behoudt de kwartsboot een goede structurele integriteit, zelfs na continu gebruik gedurende meer dan 10 maanden, zonder enige kristallisatievervuiling, waardoor de kosten van vervanging van verbruiksartikelen en onderhoud tijdens stilstand voor klanten aanzienlijk worden verlaagd.

Case 2: Speciaal oxidatie-experiment bij een halfgeleideronderzoeksinstituut

Uitdaging voor de klant: Bij het uitvoeren van oxidatie-experimenten op nieuwe halfgeleidermaterialen moet het onderzoeksteam een ​​sterke ultraviolette lichtbron gebruiken voor hulpkatalyse. De originele transparante kwartsboot genereert een grote hoeveelheid ozon onder sterke bestraling met ultraviolet licht, wat niet alleen de metalen fittingen rond de ovenbuis aantast, maar ook een potentiële bedreiging vormt voor het ademhalingssysteem van het experimentele personeel.

Oplossing: We hebben een speciale ozonvrije kwartsboot voor de experimentele oven van de klant ontwikkeld op basis van de grootte. De boot blokkeert effectief de kortegolf-ultraviolette straling en maakt gebruik van de uitstekende elektrische isolatie van kwartsglas om experimentele veiligheid in elektrische veldomgevingen met hoge temperaturen te garanderen.

Effectiviteit van de toepassing: Na gebruik van een ozonvrije kwartsboot daalde de ozonconcentratie in de experimentele kamer onder de veiligheidsnorm, waardoor de problemen van milieuvervuiling en corrosie van apparatuur volledig werden opgelost. Het precieze sleufontwerp (met een tolerantiecontrole van ± 0,01 mm) zorgt ook voor de thermische uniformiteit van de experimentele monsters, waardoor het onderzoeksteam nauwkeurigere en reproduceerbare experimentele gegevens kan verkrijgen.

Als u op maat gemaakte behoeften heeft voor hittebestendige, corrosiebestendige en ozonvrije kwartsboten, of als u zich zorgen maakt over de levensduur en het rendement van voertuigen met hoge temperaturen, neem dan gerust contact met ons op! Of het nu gaat om de aanschaf van standaardspecificaties of om complexe, op maat gemaakte ontwerpen op basis van tekeningen, wij zullen u van harte voorzien van de meest professionele kwartsproductoplossingen.

Luverre Quartz produceert en verkoopt een breed assortiment gesmolten kwartsglas van hoge kwaliteit, waaronder gesmolten kwartsbuizen, gesmolten kwartsplaten, gesmolten kwartsstaven, gesmolten kwartsvensters, gesmolten kwartskroezen, gesmolten kwartsboten, gesmolten kwartsflenzen, gesmolten kwartsbekers, gesmolten kwartsglasinstrumenten en meer. We kunnen voldoen aan allerlei aangepaste eisen voor gesmolten kwartsglasproducten.

Voor meer informatie kunt u gerust contact met ons opnemen.