Hochreines Katalysatorträger-Quarzglasrohr

Hochreine Katalysatorträger-Quarzglasrohre sind ein wichtiges Material, das im Bereich der Katalysatorträger weit verbreitet ist. Quarzglasröhren sind aufgrund ihrer besonderen physikalischen Eigenschaften wie hoher Temperaturbeständigkeit, Säure- und Alkalibeständigkeit, geringer Ausdehnung und guter Lichtdurchlässigkeit zu einem unverzichtbaren Trägermaterial in der Halbleiterindustrie und anderen Bereichen geworden, die hochreine Reaktionsumgebungen erfordern. In der Halbleiterindustrie werden Quarzglasrohre häufig in Batch-Brennöfen eingesetzt, beispielsweise als hochreine Reaktionskammern, Gas-/Flüssigkeitseinlässe oder Transportleitungen. Darüber hinaus spielen Diffusionsrohre und Glasglocken aus Quarzmaterialien eine wichtige Rolle bei Schlüsselprozessen wie der Diffusion, Oxidation, Abscheidung und Ätzung von Halbleitern.