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高純度触媒担体石英ガラス管
高純度触媒担体石英ガラス管は触媒担体の分野で広く使用されている重要な材料です。石英ガラス管は、耐高温性、耐酸性、耐アルカリ性、低膨張性、良好な光透過性などの特殊な物性により、半導体産業をはじめとする高純度の反応環境が必要な分野において欠かせないキャリア材料となっています。半導体産業では、石英ガラス管は、高純度反応チャンバー、ガス/液体入口、輸送パイプラインなどのバッチ焼成炉で広く使用されています。また、石英材料で作られた拡散管やベルジャーは、半導体の拡散、酸化、成膜、エッチングなどの重要なプロセスで重要な役割を果たしています。
