JGS1-Quarzplatte mit niedrigem OH-Gehalt

Der JGS1-Quarzplatte mit niedrigem OH-Gehalt ist ein ultraviolettes optisches Material aus synthetischem Quarzglas. Durch den Dampfabscheidungsprozess wird der Gehalt an Hydroxylgruppen (-OH) auf einem extrem niedrigen Niveau (<10 ppm) kontrolliert, wodurch die Infrarotabsorptionsbande nahe 2700 nm vollständig eliminiert wird und eine ultrabreitbandige hohe Durchlässigkeit vom tiefen Ultraviolett bis zum nahen Infrarot (185–2500 nm) erreicht wird. Es ist ein ideales Fenstermaterial für Lasertechnologie, Halbleiterlithographie und hochenergetische Detektionsfelder.

Produkt-FAQ: Bewältigung der wichtigsten Herausforderungen bei optischen Anwendungen

F: Bei der Durchführung einer Spektralanalyse im tiefen Ultraviolett ist das Hintergrundrauschen gewöhnlicher Quarzplatten hoch, was zu ungenauen Erkennungsdaten führt. Was sollen wir tun?

A: Die JGS1-Quarzplatten mit niedrigem OH-Gehalt haben eine Durchlässigkeit von über 90 % im tiefen Ultraviolettbereich von 185 nm und keine Fluoreszenzeigenschaften. Dadurch werden Hintergrundstörungen erheblich reduziert und sichergestellt, dass die von Ihnen erfassten Spektralsignale rein und zuverlässig sind.

F: In Hochleistungslasersystemen neigt normales Glas zur Erhitzung und Rissbildung oder erleidet einen starken Energieverlust?

A: Unsere Produkte haben einen extrem niedrigen OH-Gehalt (<10 ppm), was bedeutet, dass das Material bei bestimmten Wellenlängen nur eine minimale Absorption aufweist und eine hohe Laserzerstörungsschwelle aufweist. Es hält einem Betrieb mit hoher Energiedichte ohne Schaden stand und schützt so effektiv die Stabilität Ihres Systems.

F: Sie benötigen maßgeschneiderte Fensterplatten in Sondergrößen für Vakuumgeräte, sind aber besorgt über unzureichende Genauigkeit und Luftlecks?

A: Wir bieten Dienstleistungen zur präzisen Größenanpassung an. Von einem Durchmesser von 1 mm bis 500 mm kann die Dickentoleranz innerhalb von ±0,01 mm kontrolliert werden und die Oberflächengüte kann S/D 20/10 erreichen, wodurch eine perfekte Übereinstimmung mit Ihrer Ausrüstung gewährleistet wird und die strengen Anforderungen von Hochvakuum- und Hochdruckumgebungen erfüllt werden.

Produktanwendungsbereiche

Die JGS1-Quarzplatte mit niedrigem OH-Gehalt und ihrer hervorragenden spektralen Übertragungsleistung wird häufig in den Bereichen High-End-Technologie und Präzisionsfertigung eingesetzt:

- Halbleiterfertigung: Als Maskenplatte für Fotolithographiemaschinen oder als Substrat für Wafer, um eine effiziente Übertragung von tiefem ultraviolettem Licht sicherzustellen.

- Lasertechnologie: Wird für Ausgangsfenster und interne optische Komponenten von Excimer-Lasern (ArF, KrF) verwendet und ist in der Lage, hochenergetischen Impulsen standzuhalten.

- Wissenschaftliche Forschungsanalyse: Als kolorimetrisches Fenster oder Objektiv für Ultraviolett-Spektrophotometer und Fluoreszenzspektrometer.

- Luft- und Raumfahrt: Wird zur Herstellung hochzuverlässiger Beobachtungsfenster oder Schutzfenster für optische Sensoren verwendet, die extremen Temperaturschwankungen standhalten können.

Produktkernvorteile

1. Ultrahohe Ultraviolett-Transmissionsrate: Bei Verwendung hochreiner synthetischer Rohstoffe beträgt die Transmissionsrate bei 185 nm >90 %, was viel besser ist als die von gewöhnlichem Quarz.

2. Breitbandeigenschaften aufgrund des niedrigen Hydroxylgehalts: Durch die genaue Steuerung des Hydroxylgehalts wird nicht nur der Infrarotabsorptionspeak bei 2,7 μm eliminiert, sondern auch die Dichte und Gleichmäßigkeit des Materials verbessert.

3. Hervorragende physikalische und chemische Stabilität: Der Wärmeausdehnungskoeffizient ist extrem niedrig (5,5×10⁻⁷/℃), mit einer Temperaturbeständigkeit von bis zu 1200℃ und beständig gegen fast alle Säuren (außer Flusssäure), wodurch sichergestellt wird, dass sich das Material in rauen Umgebungen für den Langzeitgebrauch nicht verformt oder altert.

Anpassungsservice für Spezifikationsabmessungen

Wir verstehen, dass Standardkomponenten selten perfekt zu Ihrem einzigartigen Design passen. Deshalb bieten wir umfassende Anpassungsdienste an:

- Geometrische Formen: runde, quadratische, rechteckige und unregelmäßige Öffnungen.

- Größenbereich: Durchmesser 3 mm – 500 mm; Dicke 0,1 mm - 50 mm.

- Verarbeitungsgenauigkeit: Die Dickentoleranz kann ±0,01 mm erreichen; Parallelität < 30 Sekunden; Oberflächengüte S/D 10/5.

- Kantenbehandlung: Fase, Kerbnut, Positionierungskante (gemäß SEMI-Standards oder Kundenzeichnungen).

Kundenanwendungsfälle

Fall 1: Anforderungen und Lösungen eines Herstellers von Tief-Ultraviolett-Lasern

- Kundenanforderungen: Der Kunde benötigte eine Charge Quarzplatten für das Ausgangsfenster eines 248-nm-Excimer-Lasers, die einer hohen Energiedichte (>20 J/cm²) standhalten müssen, ohne Farbzentren zu erzeugen. Die Fenstergröße betrug Φ50,8 mm und die Dicke betrug 3 mm.

- Unsere Lösung: Wir haben JGS1-Quarzmaterial mit niedrigem OH-Gehalt (<5 ppm) bereitgestellt und dabei eine hochpräzise doppelseitige Poliertechnologie verwendet, um eine Oberflächenrauheit von <0,5 nm und eine Wellenfrontverzerrung zu gewährleisten, die bei λ/10 bei 633 nm kontrolliert wird.

- Endergebnis: Im Installationstest des Kunden erhöhte sich die Laserzerstörungsschwelle dieser Fenstercharge um 30 %, die Durchlässigkeit blieb stabil und es trat kein Photoabsorptionsphänomen auf. Dadurch konnte der Laser des Kunden den Abnahmetest problemlos bestehen und in die Massenproduktion eintreten.

Fall 2: Modernisierung des Vakuum-Ultraviolett-Spektroskopiesystems einer Forschungseinrichtung

- Kundenanforderungen: Als die Einrichtung ein Vakuum-Ultraviolett-Spektrometer im 180-nm-Band baute, zeigte die ursprüngliche Fensterplatte eine starke Dämpfung der Signale unterhalb von 200 nm, was es unmöglich machte, Spurengase genau zu erkennen.

- Unsere Lösung: Wir haben für sie ultradünne JGS1-Quarzplatten mit niedrigem OH-Gehalt (Dicke 0,5 mm, Öffnung 25,4 mm) angepasst und den Kantenspannungsbeseitigungsprozess optimiert.

- Endergebnis: Nach dem Austausch des Fensters erhöhte sich das Signal-Rausch-Verhältnis des Spektrometers bei 185 nm um das Fünffache, wodurch die wichtigsten charakteristischen Absorptionspeaks erfolgreich erfasst wurden. Der Projektleiter sagte: „Die UV-Durchlässigkeit dieser maßgeschneiderten Platte übertraf die Erwartungen völlig.“

Ganz gleich, ob Sie Muster in Standardgröße zum Testen oder komplexe und kundenspezifische Formen benötigen, wir können Ihre Anforderungen mit professioneller Technologie und effizienten Dienstleistungen erfüllen. Bitte senden Sie uns Ihre Zeichnungen oder technischen Spezifikationen. Unsere Ingenieure werden Ihnen innerhalb von 24 Stunden eine detaillierte Materialauswahl und einen Angebotsplan unterbreiten.

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzboote, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.