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低OH含有量JGS1石英シート
の 低OH含有量JGS1石英シート は、合成石英ガラスからなる紫外光学材料です。蒸着法により水酸基（-OH）の含有量を極めて低レベル（10ppm未満）に制御することで、2700nm付近の赤外線吸収帯を完全に除去し、深紫外から近赤外（185～2500nm）までの超広帯域高透過率を実現しました。レーザー技術、半導体リソグラフィー、高エネルギー検出分野に最適な窓材です。
製品 FAQ: 光学アプリケーションの主要な課題への対処
Q: 深紫外分光分析を行う場合、通常の石英板ではバックグラウンドノイズが高く、検出データが不正確になります。どうすればいいでしょうか？
A: 低 OH 含有量の JGS1 石英プレートは、185nm の深紫外領域で 90% 以上の透過率を持ち、蛍光特性を持ちません。これによりバックグラウンド干渉が大幅に軽減され、収集するスペクトル信号が純粋で信頼できるものになります。
Q: 高出力レーザー システムでは、通常のガラスは加熱や亀裂が発生しやすく、あるいは重大なエネルギー損失が発生する可能性がありますか?
A: 当社の製品は OH 含有量が非常に低く (<10ppm)、これは材料が特定の波長での吸収が最小限であり、レーザー損傷閾値が高いことを意味します。高エネルギー密度の動作に損傷を与えることなく耐えることができ、システムの安定性を効果的に保護します。
Q: 真空装置用に規格外のサイズの窓板を特注で製作したいのですが、精度不足やエア漏れが心配ですか?
A: 正確なサイズのカスタマイズサービスを提供しています。直径 1mm から 500mm まで、厚さの公差は ±0.01mm 以内に制御でき、表面仕上げは S/D 20/10 に達するため、装置との完全な一致を保証し、高真空および高圧環境の厳しい要件を満たします。
製品の応用分野
低 OH 含有量の JGS1 石英シートは、優れた分光透過性能を備え、ハイエンド技術および精密製造分野で広く使用されています。
・半導体製造： フォトリソグラフィー装置のマスクプレートやウエハー用基板として、深紫外光を効率よく透過します。
- レーザー技術: エキシマレーザー (ArF、KrF) の出力窓と内部光学部品に使用され、高エネルギーパルスに耐えることができます。
- 科学研究分析: 紫外分光光度計および蛍光分光計の比色窓またはレンズとして。
- 航空宇宙: 極端な温度変動環境に耐えられる、信頼性の高い観察窓や光学センサー保護窓の製造に使用されます。
製品の主な利点
1.超高い紫外線透過率： 高純度の合成原料を使用しており、185nmでの透過率は90%以上で、通常の石英よりもはるかに優れています。
2. 低水酸基含有量によるワイドスペクトル特性： 水酸基含有量を正確に制御することで、2.7μmの赤外線吸収ピークを除去するだけでなく、材料の密度と均一性も向上します。
3. 優れた物理的・化学的安定性： 熱膨張係数が非常に低く（5.5×10⁻⁷/℃）、耐熱温度は1200℃まであり、ほとんどの酸（フッ酸を除く）に対して耐性があり、過酷な環境下でも変形や老化が少なく、長期使用が可能です。
仕様寸法のカスタマイズサービス
標準コンポーネントがお客様の独自の設計に完全に適合することはほとんどないことを私たちは理解しています。したがって、フルサイズのカスタマイズ サービスを提供します。
- 幾何学的形状: 円形、正方形、長方形、不規則な開口部。
- サイズ範囲: 直径 3mm - 500mm。厚さ0.1mm～50mm。
- 加工精度: 厚さの公差は±0.01mmに達します。並列処理 < 30 秒。表面仕上げ S/D 10/5。
- エッジ処理: 面取り、ノッチ溝、位置決めエッジ (SEMI 規格または顧客の図面による)。
お客様の応用事例
事例 1: 深紫外レーザー メーカーの要件と解決策
- 顧客の要件: 顧客は、カラーセンターを生成せずに高エネルギー密度 (>20J/cm²) に対する耐性を必要とする、248nm エキシマ レーザーの出力ウィンドウ用の石英プレートのバッチを必要としていました。窓サイズはΦ50.8mm、厚さは3mmでした。
- 当社のソリューション: 当社は、超精密両面研磨技術を使用して、低 OH 含有量 (<5ppm) の JGS1 石英材料を提供し、表面粗さ <0.5nm と波面歪みを 633nm で λ/10 に制御しました。
- 最終結果: お客様の設置テストでは、このバッチの窓のレーザー損傷閾値は 30% 増加し、透過率は安定しており、光吸収現象はありませんでした。これにより、顧客のレーザーは受け入れテストにスムーズに合格し、量産段階に入ることができました。
事例2：研究機関の真空紫外分光装置の更新
- 顧客の要件: 施設が 180nm 帯域の真空紫外分光計を構築していたとき、元の窓プレートでは 200nm 以下の信号が急激に減衰することが示され、微量ガスを正確に検出できなくなりました。
- 当社のソリューション: 極薄の低 OH 含有量 JGS1 石英プレート (厚さ 0.5 mm、口径 25.4 mm) をカスタマイズし、エッジ応力除去プロセスを最適化しました。
- 最終結果: ウィンドウを交換した後、185nm での分光計の信号対雑音比は 5 倍に増加し、重要な特徴的な吸収ピークを捕捉することに成功しました。プロジェクト リーダーは、「このカスタマイズされたプレートの紫外線透過率は予想を完全に上回りました。」と述べました。
試験用の標準サイズのサンプルが必要な場合でも、複雑でカスタマイズされた形状が必要な場合でも、当社は専門的な技術と効率的なサービスでお客様のニーズにお応えします。図面または技術仕様をお送りください。当社のエンジニアが 24 時間以内に詳細な材料選択と見積り計画を提供します。
ルベールクォーツは 、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、幅広い高品質の石英ガラスを製造・販売しています。石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズのご要望にお応えいたします。
