Halbleiterfertigung: Quarzrohr mit Außendurchmesser von 20 mm

Das in der Halbleiterfertigung verwendete Quarzrohr mit einem Außendurchmesser von 20 mm ist ein kritisches Prozessmaterial.

Eigenschaften der Quarzröhre:

Hohe Reinheit: Quarzrohre bestehen hauptsächlich aus hochreinem Quarz (SiO2) mit einer Reinheit von 99,9 % bis 99,998 %.

Hohe Temperaturbeständigkeit: Quarzmaterial verfügt über eine extrem hohe Temperaturbeständigkeit und kann über einen langen Zeitraum bei Temperaturen bis zu 1150 °C verwendet werden, wobei in kurzer Zeit eine maximale Einsatztemperatur von 1730 °C erreicht wird.

Chemische Stabilität: Quarzrohre sind hinsichtlich ihrer chemischen Eigenschaften sehr stabil und reagieren nicht leicht mit sauren oder alkalischen Substanzen.

Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: Quarz hat einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und erfährt bei Temperaturschwankungen nur minimale Volumenänderungen.

Gute Isolierung: Quarzrohre verfügen über hervorragende elektrische Isoliereigenschaften.

Anwendung von Quarzrohr:

Halbleiterfertigung: Quarzröhren werden häufig in mehreren Prozessschritten der Halbleiterfertigung eingesetzt, wie z. B. Epitaxie, Fotolithographie, Diffusion, Oxidation, Reinigung, CVD, RTP, PVD, Ätzen usw.

Trägergeräte und Hohlraumverbrauchsmaterialien: Quarzrohre werden als Trägergeräte und Hohlraumverbrauchsmaterialien beim Ätzen, Diffusions-, Oxidations- und anderen Prozessen von Halbleitern verwendet.

Quarzisolierte Rohre: Insbesondere in der Halbleiterfertigung sind quarzisolierte Rohre aufgrund ihrer hohen Reinheit und hohen Temperaturbeständigkeit zu einem unverzichtbaren Bestandteil geworden.

Spezifikation des Quarzrohrs:

Der Außendurchmesserbereich von Quarzrohren in Halbleiterqualität kann je nach Anwendungsanforderungen verschiedene Spezifikationen haben, z. B. 100 mm bis 900 mm.

Quarzrohre mit einem Außendurchmesser von 20 mm spielen eine wichtige Rolle in der Halbleiterfertigung und ihre einzigartigen physikalischen und chemischen Eigenschaften machen sie zu einem Schlüsselmaterial in diesem Bereich.

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