半導体製造外径20mm石英チューブ

半導体製造で使用される20mm外径石英チューブは、重要なプロセス材料です。

石英チューブの特性：

高純度： 石英チューブは、主に高純度の石英（SIO2）で作られており、純度は99.9％から99.998％です。

高温抵抗： 石英材料は非常に高温抵抗を持ち、最大1150°Cまでの温度で長時間使用でき、最大使用温度は短期間で1730°Cです。

化学的安定性： 石英チューブは、化学的特性の点で非常に安定しており、酸性またはアルカリ性物質と容易に反応しません。

熱膨張係数が低い： 石英の熱膨張係数は低く、温度変動により最小限の体積変化を起こします。

良好な断熱： 石英チューブには、優れた電気断熱特性があります。

Quartzチューブの適用：

半導体製造： 石英チューブは、エピタキシー、フォトリソグラフィ、拡散、酸化、洗浄、CVD、RTP、PVD、ETCHなど、半導体製造の複数のプロセスステップで広く使用されています。

キャリアデバイスとキャビティの消耗品： 石英チューブは、半導体エッチング、拡散、酸化、およびその他のプロセスのキャリアデバイスおよびキャビティ消耗品として使用されます。

クォーツ絶縁チューブ： 特に半導体製造では、クォーツ絶縁チューブは、その高純度と高温抵抗のために不可欠なコンポーネントになりました。

石英チューブの仕様：

半導体グレードの石英チューブの外径の範囲は、アプリケーションの要件に応じて、100mmから900mmなどのさまざまな仕様を持つことができます。

外径20mmの石英チューブは、半導体製造に重要な役割を果たし、独自の物理的および化学的特性により、この分野で重要な材料になります。

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