半導体製造用外径20mm石英管

半導体製造に使用される外径 20mm の石英管は、重要なプロセス材料です。

石英管の特徴:

高純度: 石英管は主に高純度石英 (SiO2) でできており、純度は 99.9% ～ 99.998% の範囲です。

高温耐性： 石英材料は非常に高温耐性があり、最大1150℃の温度で長時間使用でき、短時間の最高使用温度は1730℃になります。

化学的安定性： 石英管は化学的性質の点で非常に安定しており、酸性やアルカリ性の物質に対して反応しにくいです。

低い熱膨張係数: 石英は熱膨張係数が低く、温度変動による体積変化が最小限です。

優れた絶縁性： 石英管は優れた電気絶縁特性を持っています。

石英管の応用:

半導体製造: 石英管は、エピタキシー、フォトリソグラフィー、拡散、酸化、洗浄、CVD、RTP、PVD、エッチングなど、半導体製造の複数のプロセスステップで広く使用されています。

キャリアデバイスおよびキャビティ消耗品: 石英管は、半導体のエッチング、拡散、酸化などのプロセスでキャリアデバイスおよびキャビティ消耗品として使用されます。

石英絶縁管： 石英絶縁管はその高純度、高温耐性により、特に半導体製造においては欠かせない部品となっています。

石英管の仕様:

半導体グレードの石英管の外径範囲は、アプリケーション要件に応じて、100mmから900mmなどのさまざまな仕様にすることができます。

外径20mmの石英管は半導体製造において重要な役割を果たしており、その独特の物理的・化学的特性によりこの分野の重要な素材となっています。

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