반도체 제조 외경 20mm 석영 튜브

반도체 제조에 사용되는 20mm 외부 직경 석영 튜브는 중요한 공정 재료입니다.

석영 튜브의 특성 :

고순도 : 석영 튜브는 주로 고급 쿼츠 (SIO2)로 만들어지며 순도는 99.9%에서 99.998%입니다.

고온 저항 : 석영 재료는 매우 높은 온도 저항을 가지며 최대 1150 ° C의 온도에서 오랫동안 사용될 수 있으며 단기간에 최대 사용 온도는 1730 ° C입니다.

화학적 안정성 : 석영 튜브는 화학적 특성 측면에서 매우 안정적이며 산성 또는 알칼리성 물질과 쉽게 반응하지 않습니다.

열 팽창 계수 : 석영은 열 팽창 계수가 낮고 온도 변동에 따라 최소한의 부피 변화를 겪습니다.

좋은 절연 : 석영 튜브에는 우수한 전기 절연 특성이 있습니다.

석영 튜브의 적용 :

반도체 제조 : 석영 튜브는 에피 택시, 포토 리소그래피, 확산, 산화, 세정, CVD, RTP, PVD 등과 같은 반도체 제조의 여러 공정 단계에서 널리 사용됩니다.

캐리어 장치 및 공동 소모품 : 석영 튜브는 반도체 에칭, 확산, 산화 및 기타 공정에서 캐리어 장치 및 공동 소모품으로 사용됩니다.

석영 절연 튜브 : 특히 반도체 제조에서 석영 절연 튜브는 고순도 및 고온 저항으로 인해 필수 부족 성분이되었습니다.

석영 튜브의 사양 :

반도체 등급 석영 튜브의 외경 범위는 응용 프로그램 요구 사항에 따라 100mm ~ 900mm와 같은 다양한 사양을 가질 수 있습니다.

외경이 20mm 인 석영 튜브는 반도체 제조에 중요한 역할을하며, 고유 한 물리적 및 화학적 특성은이 분야의 주요 재료가됩니다.

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