Le transparent résistant à la chaleur Le bateau à quartz semi-conducteur est un produit à quartz haute performance spécialement conçu pour les processus de fabrication de semi-conducteurs. Il est principalement utilisé pour transporter et transporter des plaquettes et est largement utilisé dans les processus à haute température tels que l'oxydation, la diffusion, le dépôt CVD et le recuit. Les bateaux en quartz jouent un rôle clé dans la fabrication de semi-conducteurs en raison de leur excellente résistance aux températures élevées, de leur stabilité chimique et de leur transparence.

Caractéristiques des matériaux

(I) Verre de quartz de haute pureté

Le matériau principal du bateau à quartz est du verre de quartz de haute pureté (SiO _ 2), qui présente une pureté extrêmement élevée et une très faible teneur en impuretés métalliques. Ce matériau possède les propriétés remarquables suivantes :

1. Résistance à haute température : la température du point de ramollissement du verre de quartz est d'environ 1 730 °C, ce qui peut être utilisé à 1 150 °C pendant une longue période, et la température maximale pendant une courte période peut atteindre 1 450 °C. Dans des environnements à haute température, les bateaux en quartz peuvent maintenir la stabilité structurelle sans déformation ni fusion.

2. Stabilité chimique : le verre de quartz est très résistant à la plupart des substances chimiques (telles que les acides, les alcalis, etc.) et ne réagit pratiquement pas avec d'autres acides, à l'exception de l'acide fluorhydrique. Cette propriété lui permet de rester stable lors d’un traitement chimique à haute température sans provoquer de contamination de la plaquette.

3. Transparence : le verre de quartz a de bonnes performances de transmission de la lumière dans toute la bande spectrale de l'ultraviolet à l'infrarouge, avec une transmission de la lumière visible de plus de 93 % et une transmission de la lumière de plus de 80 % dans la région spectrale ultraviolette. Cette transparence permet aux bateaux en quartz de répondre aux besoins d'éclairage ou d'exposition des plaquettes dans certains procédés.

4. Stabilité thermique : le quartz de haute pureté a un très faible coefficient de dilatation thermique et peut résister à des changements de température intenses. Même si le quartz de haute pureté est chauffé à environ 1 100 °C, il n’éclatera pas lorsqu’il est placé dans de l’eau à température ambiante.

(II) Contrôle des impuretés

Dans le processus de production de sable de quartz, la matière première du bateau à quartz, la flottation, le décapage, la chloration, la séparation magnétique et d'autres processus sont utilisés pour contrôler la teneur en impuretés. Cela améliore non seulement la résistance à haute température du bateau en quartz, mais réduit également les défauts causés par les impuretés, telles que les bulles et les microparticules, garantissant ainsi les performances et la qualité du bateau en quartz.

Avantage du produit

(I) Stabilité à haute température

Les bateaux en quartz peuvent rester stables pendant longtemps dans des environnements à haute température sans déformation ni dommage, et conviennent à une variété de processus à haute température, tels que l'oxydation, la diffusion, le recuit, etc. Cette stabilité est essentielle pour garantir la précision et la répétabilité des processus de fabrication de semi-conducteurs.

(II) Inertie chimique

L'inertie chimique de la nacelle en quartz l'empêche de réagir avec des gaz réactifs ou des produits chimiques lors d'un traitement chimique à haute température, évitant ainsi la contamination de la tranche. Cette propriété est essentielle pour garantir la haute qualité et la pureté des dispositifs semi-conducteurs.

(III) Transparence et propriétés optiques

La transparence de la nacelle en quartz lui permet de répondre aux besoins d'éclairage ou d'exposition de la plaquette dans certains procédés. Par exemple, dans les processus de lithographie et d'exposition, la transparence du bateau en quartz garantit que la source de lumière éclaire avec précision la plaquette, améliorant ainsi la précision et l'efficacité du processus.

(Iv) Stabilité thermique

La stabilité thermique des bateaux en quartz leur permet de résister à des changements rapides de température sans fissuration ni déformation. Cette propriété est importante pour améliorer l’efficacité et la fiabilité des processus de fabrication de semi-conducteurs.

Scénario d'application

Les bateaux à quartz semi-conducteurs transparents personnalisés et résistants à la chaleur sont largement utilisés dans plusieurs étapes de processus dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris, mais sans s'y limiter :

1. Processus d'oxydation : La plaquette est oxydée à haute température pour former une couche d'oxyde.

2. Processus de diffusion : diffusion d'atomes d'impuretés dans une plaquette pour modifier ses propriétés électriques.

3. Dépôt CVD : des films minces sont déposés sur la surface d'une plaquette pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.

4. Processus de recuit : en chauffant le matériau pour restaurer ou modifier ses propriétés, afin d'améliorer les performances de la plaquette.

Service personnalisé

Nous fournissons des solutions personnalisées de bateaux en quartz pour répondre aux besoins spécifiques des différents clients. Les services personnalisés comprennent, sans s'y limiter :

1. Taille et forme : Personnalisez la taille et la forme du bateau à quartz en fonction des exigences du processus du client.

2. Contrôle de la pureté et des impuretés : Selon les différentes exigences du processus, différentes qualités de pureté des bateaux à quartz sont fournies.

3. Conception de fonctions spéciales : par exemple, ajout de trous de ventilation pour optimiser le flux d'air chaud et améliorer l'efficacité du processus.

Les bateaux à quartz semi-conducteurs transparents résistants à la chaleur sont un outil indispensable dans la fabrication de semi-conducteurs en raison de leur excellente résistance aux températures élevées, de leur stabilité chimique et de leur transparence. Nos services personnalisés et nos produits de haute qualité peuvent répondre aux besoins spécifiques de différents clients et aider l'industrie des semi-conducteurs à poursuivre sa croissance.

Luverre Quartz fabrique et vend une large gamme de verre de quartz de haute qualité, notamment des tubes de quartz, des plaques de quartz, des tiges de quartz, des fenêtres en quartz, des creusets en quartz, des bateaux en quartz, des brides en quartz, des béchers en quartz, des instruments en verre de quartz, etc. Nous pouvons répondre à toutes sortes d’exigences personnalisées en matière de produits en verre de quartz.