Processus d'oxydation à semi-conducteur de haute pureté tuyau en verre de quartz

Processus d'oxydation à semi-conducteur de haute pureté Le tuyau en verre en quartz est un matériau spécial largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Ce type de tuyau en verre de quartz a les caractéristiques de la haute pureté, des groupes hydroxyles faibles et de la résistance à haute température, et est largement utilisé dans l'oxydation de la tranche de silicium de qualité semi-conductrice, la diffusion et d'autres processus.

Le verre de quartz est connu sous le nom de 'Crown Jewel ' dans les matériaux en verre, et est un type de verre composé de silice pure avec d'excellentes propriétés mécaniques, thermiques, optiques et électriques. Dans l'industrie des semi-conducteurs, les matériaux et les produits en verre de quartz résistant à haute pureté, sans pollution et à haute température sont des matériaux auxiliaires essentiels. Ces produits en verre de quartz sont largement utilisés dans l'équipement semi-conducteur en raison de leurs excellentes propriétés physiques et chimiques. Par exemple, les creusets en quartz jouent un rôle crucial dans la croissance des cristaux de silicium, en particulier dans la méthode Czochralski (CZ). Les tuyaux en quartz sont principalement utilisés dans les fours de diffusion pour maintenir la stabilité chimique et l'intégrité physique à des températures élevées, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement et le traitement des matériaux semi-conducteurs.

De plus, l'aspect le plus crucial de la fabrication de semi-conducteurs est la fabrication de puces, qui est également le domaine le plus précieux de l'industrie des semi-conducteurs. Le verre de quartz est largement utilisé dans les processus de fabrication et de fabrication de plaquettes en silicium en raison de ses excellentes propriétés telles que la haute pureté, la résistance à haute température, la faible augmentation thermique et la résistance à la corrosion. Par exemple, le verre de quartz est indispensable dans le processus de fabrication et de traitement des plaquettes, y compris l'oxydation, l'épitaxie, la photolithographie, la gravure, la diffusion, les MCV, l'implantation d'ions et le broyage.

Processus d'oxydation des semi-conducteurs de haute pureté Les tuyaux en verre de quartz jouent un rôle important dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, et leurs propriétés physiques et chimiques uniques en font un matériau indispensable dans ce domaine.