عالي نقاء أشباه الموصلات أكسدة عملية كوارتز الزجاج

إن أنبوب أكسدة أشباه الموصلات العالي في نقاء هو مادة خاصة تستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات. يحتوي هذا النوع من أنابيب زجاج الكوارتز على خصائص نقاء عالية ، ومجموعات هيدروكسيل منخفضة ، ومقاومة عالية للدرجات ، ويستخدم على نطاق واسع في أكسدة رقاقة السيليكون من الدرجة شبه الموصلات ، والانتشار ، وغيرها من العمليات.

يُعرف زجاج الكوارتز باسم 'Crown Jewel ' في المواد الزجاجية ، وهو نوع من الزجاج يتكون من السيليكا النقية مع خصائص ميكانيكية ، حرارية ، بصرية ، وكهربائية. في صناعة أشباه الموصلات ، تعتبر المواد والمنتجات العالية الخالية من التلوث ، والمواد والمنتجات الزجاجية الكوارتز ذات درجة الحرارة العالية مواد أساسية. تستخدم هذه المنتجات الزجاجية الكوارتز على نطاق واسع في معدات أشباه الموصلات بسبب خصائصها الفيزيائية والكيميائية الممتازة. على سبيل المثال ، تلعب كبارز كوارتز دورًا حاسمًا في نمو بلورات السيليكون ، وخاصة في طريقة Czochralski (CZ). تستخدم أنابيب الكوارتز بشكل أساسي في أفران الانتشار للحفاظ على الاستقرار الكيميائي والسلامة الفيزيائية في درجات حرارة عالية ، مما يجعلها خيارًا مثاليًا لمعالجة مواد أشباه الموصلات ومعالجتها.

بالإضافة إلى ذلك ، فإن الجانب الأكثر أهمية في تصنيع أشباه الموصلات هو تصنيع الرقائق ، وهو أيضًا المجال الأكثر قيمة في صناعة أشباه الموصلات. يستخدم زجاج الكوارتز على نطاق واسع في عمليات تصنيع الويفر للسيليكون وويفر بسبب خصائصه الممتازة مثل النقاء العالي ، ومقاومة درجة الحرارة العالية ، والتمدد الحراري المنخفض ، ومقاومة التآكل. على سبيل المثال ، لا غنى عن زجاج الكوارتز في عملية تصنيع الرقاقة والمعالجة ، بما في ذلك الأكسدة ، و epitaxy ، و photolithography ، والحفر ، والانتشار ، والقطر الأماني ، وزرع أيون ، والطحن.

تلعب أنابيب أكسدة أشباه الموصلات عالية النقاء دورًا مهمًا في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، وخصائصها الفيزيائية والكيميائية الفريدة تجعلها مادة لا غنى عنها في هذا المجال.