Vues: 0 Auteur: Éditeur de site Temps de publication: 2025-01-10 Origine: Site
Le verre de quartz est largement utilisé dans les semi-conducteurs, principalement dans les aspects suivants:
I, traitement de la plaquette
Transport et protection des plaquettes: Dans le processus de traitement des plaquettes, les produits en verre de quartz sont utilisés comme un outil pour transporter et protéger les plaquettes, pour s'assurer que les plaquettes du processus de traitement pour maintenir la stabilité, pour éviter la contamination ou les dommages.
II, processus de lithographie
Matière de masque de lithographie: le verre de quartz est utilisé comme matériau de masque dans le processus de lithographie en raison de sa transmission et de sa stabilité à haute lumière. Cela permet d'assurer la précision et la stabilité du processus de lithographie et améliore la qualité de fabrication des appareils semi-conducteurs.
Iii. Dépôt de vapeur chimique (CVD)
Substrat ou vaisseau: Dans un réacteur CVD, le verre de quartz est utilisé comme substrat ou vaisseau qui peut résister à des températures élevées et à une corrosion chimique pour fournir un environnement stable pour le dépôt de matériaux semi-conducteurs.
Iv. Implantation ionique
Était résisté à l'impact des ions à haute énergie: dans le processus d'implantation ionique, le verre de quartz peut résister à l'impact des ions à haute énergie sans rupture ni déformation, assurant la précision et l'efficacité de l'implantation ionique.
V. Équipement de semi-conducteur
Pièces de fabrication: Le verre de quartz est également utilisé dans la fabrication d'une variété de pièces d'équipement semi-conducteur, telles que des tubes de diffusion, des bateaux à rainures, des réservoirs de nettoyage, etc., ces pièces jouent un rôle important dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.
VI, nettoyage et gravure
Matériaux de conteneurs: Dans le processus de nettoyage et de gravure, le verre de quartz est utilisé comme matériau de conteneur en raison de sa stabilité chimique et de sa résistance à la corrosion, pour assurer le fonctionnement fluide du processus de nettoyage et de gravure.
Vii, autres applications
Lingots de quartz synthétiques: les lingots de quartz synthétisés à partir de verre de quartz sont également une matière première importante pour la version de photomasque semi-conducteur avec un seuil technique très élevé.
Avantages du verre de quartz dans le semi-conducteur
La haute pureté: le verre de quartz a une faible teneur en impureté, ce qui peut réduire la pollution des dispositifs semi-conducteurs.
Bonnes propriétés optiques: répondre aux exigences de la photolithographie et d'autres processus de haute précision.
Résistance à haute température et à la corrosion: s'adapter à l'environnement sévère dans la fabrication de semi-conducteurs.
Stabilité chimique élevée: pas facile à réagir avec les produits chimiques dans le processus.
Le verre de quartz joue un rôle essentiel dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, et ses excellentes performances et sa large gamme d'applications en font l'un des matériaux clés indispensables à l'industrie des semi-conducteurs.
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