석영 유리 는 주로 다음 측면에서 반도체에 널리 사용됩니다.

나는 웨이퍼 처리

웨이퍼의 운반 및 보호 : 웨이퍼 가공 공정에서 석영 유리 제품은 웨이퍼를 운반하고 보호하는 도구로 사용되어 가공 공정의 웨이퍼가 안정성을 유지하고 오염이나 손상을 피하기 위해 보장합니다.

II, 리소그래피 과정

리소그래피 마스크 재료 : 석영 유리는 높은 광 전송 및 안정성으로 인해 리소그래피 과정에서 마스크 재료로 사용됩니다. 이를 통해 리소그래피 공정의 정확성과 안정성을 보장하고 반도체 장치의 제조 품질을 향상시킵니다.

III. 화학 기상 증착 (CVD)

기질 또는 용기 : CVD 반응기에서 석영 유리는 반도체 재료의 증착을위한 안정적인 환경을 제공하기 위해 고온 및 화학적 부식을 견딜 수있는 기판 또는 용기로 사용됩니다.

IV. 이온 임플란트

고 에너지 이온 충격 견해 : 이온 이식 공정에서 석영 유리는 파열 또는 변형없이 고 에너지 이온의 영향을 견딜 수있어 이온 이식의 정확성과 효율성을 보장합니다.

V. 반도체 장비

제조 부품 : 석영 유리는 또한 확산 튜브, 그루브 보트, 청소 탱크 등과 같은 다양한 반도체 장비 부품의 제조에도 사용됩니다. 이러한 부품은 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을합니다.

VI, 청소 및 에칭

컨테이너 재료 : 청소 및 에칭 공정에서 석영 유리는 화학적 안정성 및 부식 저항으로 인해 컨테이너 재료로 사용되어 세척 및 에칭 공정의 원활한 실행을 보장합니다.

VII, 기타 응용 프로그램

합성 석영 잉곳 : 석영 유리에서 합성 된 석영 잉곳은 또한 매우 높은 기술 임계 값을 가진 반도체 포미로 마스크 버전의 중요한 원료이기도합니다.

반도체에서 석영 유리의 장점

고순도 : 석영 유리는 불순물 함량이 낮으므로 반도체 장치의 오염을 줄일 수 있습니다.

우수한 광학적 특성 : 포토 리소그래피 및 기타 고정밀 프로세스의 요구 사항을 충족합니다.

고온 및 부식 저항 : 반도체 제조의 가혹한 환경에 적응합니다.

높은 화학적 안정성 : 과정에서 화학 물질과 반응하기 쉽지 않습니다.

Quartz Glass는 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을하며 탁월한 성능과 광범위한 응용 분야에서 반도체 산업에 없어서는 안될 주요 재료 중 하나입니다.

Luverre Quartz는 석영 튜브, 석영 판, 석영 막대, 석영 창, 석영 도가족, 석영 보트, 석영 플랜지, 석영기구 등을 포함하여 광범위한 고품질 석영 유리를 제조하고 판매합니다. 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족 할 수 있습니다.