Visualizações: 0 Autor: Editor de sites Publicar Tempo: 2025-01-10 Origem: Site
O vidro de quartzo é amplamente utilizado em semicondutores, principalmente nos seguintes aspectos:
Eu, processamento de bolacha
Carregando e proteção das bolachas: No processo de processamento de bolacha, os produtos de vidro de quartzo são usados como uma ferramenta para transportar e proteger as bolachas, para garantir que as bolachas no processo de processamento para manter a estabilidade para evitar contaminação ou dano.
II, Processo de Litografia
Litografia Máscara Material: O vidro de quartzo é usado como material de máscara no processo de litografia devido à sua alta transmissão e estabilidade de luz. Isso ajuda a garantir a precisão e a estabilidade do processo de litografia e melhora a qualidade de fabricação dos dispositivos semicondutores.
Iii. Deposição de vapor químico (CVD)
Substrato ou vaso: em um reator de CVD, o vidro de quartzo é usado como substrato ou vaso que pode suportar altas temperaturas e corrosão química para fornecer um ambiente estável para a deposição de materiais semicondutores.
4. Implante de íons
Suportar impacto de íons de alta energia: No processo de implantação de íons, o vidro de quartzo pode suportar o impacto de íons de alta energia sem ruptura ou deformação, garantindo a precisão e a eficiência da implantação de íons.
V. Equipamento semicondutor
Peças de fabricação: O vidro de quartzo também é usado na fabricação de uma variedade de peças de equipamentos semicondutores, como tubos de difusão, barcos de ranhura, tanques de limpeza, etc., essas peças desempenham um papel importante no processo de fabricação de semicondutores.
Vi, limpeza e gravura
Materiais de contêiner: No processo de limpeza e gravação, o vidro de quartzo é usado como material de contêiner devido à sua estabilidade química e resistência à corrosão, para garantir a execução suave do processo de limpeza e gravura.
Vii, outras aplicações
Lingotes de quartzo sintético: os lingotes de quartzo sintetizados a partir de vidro de quartzo também são uma matéria -prima importante para a versão semicondutores de fotomas de máscara com um limite técnico muito alto.
Vantagens do vidro de quartzo no semicondutor
Alta pureza: o vidro de quartzo possui baixo teor de impureza, que pode reduzir a poluição de dispositivos semicondutores.
Boas propriedades ópticas: atender aos requisitos da fotolitografia e outros processos de alta precisão.
Alta temperatura e resistência à corrosão: adaptar -se ao ambiente severo na fabricação de semicondutores.
Alta estabilidade química: não é fácil de reagir com produtos químicos no processo.
O quartzo Glass desempenha um papel vital no processo de fabricação de semicondutores, e seu excelente desempenho e ampla gama de aplicações o tornam um dos principais materiais indispensáveis para a indústria de semicondutores.
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