半導体製造材料用の2-100mmクォーツロッド

半導体製造材料に特化した2〜100mmの石英ロッドは、高純度の石英材料で作られた重要なコンポーネントであり、半導体製造の分野で重要な役割を果たします。

高純度石英材料：石英ロッドは、主に高純度クォーツガラスでできており、融合シリカと水和な石英の2つのタイプに分かれています。融合シリカは、超微細な石英ロッドの生産に適していますが、水和した石英はより厚い石英ロッドの生産に適しています。

高温抵抗： クォーツロッドは、最大1450°Cまでの温度で短期間、そして最大1150°Cまでの温度で長期間使用できます。軟化点温度は約1730°Cです。

腐食耐性： フッ化水素酸を除いて、高純度の石英は他の酸性物質と化学的に反応することはほとんどなく、その酸耐性はセラミックとステンレス鋼の耐性をはるかに超えています。

熱安定性： 石英ロッドは、熱膨張の係数が非常に少なく、劇的な温度変化に耐えることができます。

透明性パフォーマンス： 高純度の石英は、紫外線から赤外線まで、スペクトル全体に良好な透明度を持ち、93％を超える可視光透過率があります。

電気断熱性能： 高純度クォーツは非常に高い抵抗値を持ち、高温でも電気断熱性能が良好です。

アプリケーションエリア

半導体製造： 石英ロッドは、高温での化学反応に耐えることができる半導体製造における反応チャンバーのサポート構造として使用されます。

光ファイバー通信： 描画によって作られたクォーツ光ファイバーは、情報伝達のための重要なコンポーネントです。

ソーラーパネルの生産： 石英ロッドは、高温炉またはその他の高温機器コンポーネントの製造に使用されます。

エレクトロニクス業界： その優れた電気断熱と安定性により、石英ロッドは、電子成分用のベースや絶縁体などのコンポーネントを作成するために使用されます。

科学的研究： 石英ロッドは、高温または腐食性実験で、試験管、ビーカー、およびその他の実験容器の代替品として使用できます。

半導体製造のアプリケーション

半導体製造プロセスでは、クォーツ製品（石英ロッドを含む）は、キャリアデバイスおよびキャビティの消耗品として、エッチング、拡散、酸化、およびその他のプロセスで広く使用されています。これらのクォーツ製品は、正確な研削と研磨を必要とし、その内部品質は蛍光検出を通じて保証されます。半導体用の石英製品は、高温デバイスと低温デバイスに分割され、それぞれ異なるプロセス段階に適用されます。

2-100mmクォーツロッドは、独自の物理的および化学的特性のため、半導体製造材料において重要な役割を果たします。

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