抗血漿侵食石英チューブ

抗血漿侵食石英チューブは、主にプラズマ環境での侵食から機器コンポーネントを保護するために使用される特別に処理またはコーティングされたクォーツチューブの一種です。クォーツ自体は、優れた高温抵抗、低熱膨張係数、良好な化学的安定性を持っていますが、通常のクォーツチューブは、高エネルギーのプラズマ環境では依然として腐食している可能性があります。耐食性を改善するために、ナノディアモンドフィルムや特別なコーティングなどの特別な腐食耐性材料は、通常、クォーツチューブの表面にコーティングされ、サービスの寿命を延ばし、機器の性能を維持します。

応用

抗血漿侵食石英チューブは、次の分野で広く使用されています。

- セメミンコンダクター製造：プラズマ強化化学蒸気堆積（PECVD）機器およびエッチング機の空洞成分に使用され、プロセスの清潔さを確保しながら、プラズマによる化学的および物理的侵食から装置を保護します。

- 研究実験：マイクロ波血漿実験で血漿を生成および制御するためのコア成分として。

- 光学能力とオプトエレクトロニクスの分野では、その優れた光学性能により、高精度の光学機器の製造に使用できます。

- 新しいエネルギーの分野では、太陽電池の製造および光熱変換機器の重要な成分を保護するために使用されます。

カスタマイズされた説明

抗血漿侵食石英チューブは、特定のユーザーのニーズに応じてカスタマイズできます。

- サイズと形状：カスタマイズ可能な内径、外径、長さ、さらには湾曲または不規則なパイプを製造することができます。

- コーティングタイプ：アプリケーション環境に応じて、ナノディアモンドフィルムや特別なセラミックコーティングなど、異なる腐食耐性コーティングを選択できます。

- 光学的性能：異なる透過率と波長範囲を持つ石英チューブを選択できます。

- 高温と耐食性：コーティング式とプロセスを最適化することにより、石英チューブの高温と耐食性をさらに改善できます。

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