半導体グレード高純度石英チューブ

半導体グレードの高純度石英チューブは、特別な処理を通じて原材料として、高純度の二酸化シリコン（SIO _ 2）で作られた石英製品です。その純度は通常99.99％を超えており、不純物含有量は非常に低く、高温抵抗、耐食性、低熱膨張係数、高断熱材、優れたスペクトル透過率があります。これらの特性により、半導体製造プロセスに不可欠な重要な材料になります。

具体的な機能は次のとおりです。

高純度：不純物の含有量は10 ppm未満であり、材料純度のために半導体産業の厳格な要件を満たしています。

高温抵抗：高温処理に適した環境では、環境で安定して動作します。

腐食抵抗：ほとんどの化学試薬の腐食に対して非常に耐性があります。

低熱膨張係数：高温環境での優れた寸法安定性、プロセスの精度が確保されます。

高光透過率：光学関連プロセスに適した特定のスペクトル範囲の優れた光透過。

応用

半導体グレードの高純度石英チューブは、半導体業界、特にチップ製造の中核で広く使用されています。特定のアプリケーションシナリオは次のとおりです。

ウェーハ製造：

Quartz Crucible：単結晶シリコンの描画に使用され、シリコンウェーハ製造のコア消耗品です。

クォーツボートとブラケット：拡散、酸化、CVD堆積、その他のプロセスなど、高温処理用のシリコンウェーハを運ぶ。

統合回路製造：

拡散チューブ：シリコンウェーハの拡散プロセスで使用されているため、最も広く使用されているクォーツ製品の1つです。

エッチングおよびリソグラフィープロセス：荷重支持デバイスとして、プロセスの安定性と精度を確保します。

クリーニングタンク：表面の清潔さを確保するために、シリコンウェーハの洗浄に使用されます。

その他の半導体機器：

クォーツフランジとチューブ：クォーツボートの侵入と出口をサポートするために、拡散炉、酸化炉、その他の機器で使用されます。

光学装置：高光透過率により、リソグラフィなどの光学プロセスで優れています。

カスタム説明

さまざまな半導体プロセスのニーズを満たすために、半導体グレードの高純度石英チューブは、次のようなカスタマイズされた生産をサポートしています。

サイズのカスタマイズ：

さまざまな直径、長さ、壁の厚さの石英チューブは、さまざまな機器や使用シナリオに適応するために、顧客のニーズに応じてカスタマイズできます。

表面処理：

表面研磨、コーティング、およびその他の治療プロセスを提供して、腐食抵抗または光学特性を強化します。

特別な形状処理：

複雑な技術要件を満たすために、特別な形の石英チューブ、穴のある石英部品、またはフランジ構造を処理できます。

量産：

供給の安定性と一貫性を確保するために、大量のカスタマイズ生産をサポートします。

優れた性能により、半導体グレードの高純度石英チューブは、半導体製造に不可欠な重要な材料になりました。カスタマイズされた生産を通じて、さまざまなプロセスリンクの材料の特定の要件を満たすことができ、半導体業界に高品質で高解放性のソリューションを提供します。

詳細については、お気軽にお問い合わせください。

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