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高紫外線透過率光学石英板
高い紫外線透過率 光学石英板は 、高純度の溶融石英または合成石英素材を精密加工・研磨加工して作られた高性能光学素子です。その核となる特性は、紫外光（特に深紫外 DUV および真空紫外 VUV）に対する極めて高い透過率と、優れた物理的安定性、熱安定性、およびレーザー損傷閾値にあります。
主な機能と利点:
非常に高い UV 透過率: 主要な UV バンド (193nm、248nm、308nm など) では、当社の石英プレートの透過率は通常 85% 以上に達し、特定の波長では 90% を超えることもあり、光エネルギーの損失を可能な限り最小限に抑えます。
優れた均一性: 材料の内部屈折率の均一性が優れており、ビーム通過時の波面歪み、収差、ビーム品質の劣化を効果的に回避し、結像と光路の精度を確保します。
極めて低い熱膨張係数： 熱膨張係数が極めて小さいため、急激な温度変化下でも安定したサイズと光学性能を維持できるため、高出力密度、高熱負荷のアプリケーションに適しています。
高いレーザー損傷閾値: 高エネルギー/高出力の紫外線レーザー照射に耐えることができ、レーザー損傷に対する強い耐性があり、長期にわたる高強度の動作下でも機器の信頼性と寿命を確保します。
優れた化学的安定性と機械的特性: 酸やアルカリの腐食に耐性があり、硬度が高く、表面に傷がつきにくく、掃除やメンテナンスが簡単です。
どのような問題を解決できるでしょうか?
従来の光学ガラスや通常の石英材料は紫外帯域で強い吸収を示し、透過率が急激に低下します。これは、紫外線に依存する多くの最先端のアプリケーションにとって深刻な課題となります。当社の高 UV 透過率光学石英プレートは、次の問題に対処するように設計されています。
1. 深刻な光エネルギー損失の問題への対処: UV リソグラフィーや UV 硬化などのシステムでは、光エネルギーのあらゆる部分が重要です。当社の製品は、非常に高い透過率によって貴重な光源エネルギーを作業面に効率的に伝達し、プロセス効率と製品品質を向上させます。
2. 「ビーム品質の低下」の問題を解決します。 材料内の気泡、不純物、または凹凸によって紫外線が散乱され、ビームの発散、焦点ドリフト、または画像のぼやけが発生する可能性があります。当社が提供する石英プレートは優れた光学的均一性を備えており、紫外線ビームが完全な形状とエネルギー分布を維持します。
3. 「システムの信頼性が不十分」の問題を解決します。 高出力紫外線レーザーでは、光学コンポーネントの熱影響とレーザー損傷がシステム障害の主な原因です。当社製品の低い熱膨張係数と高いレーザー損傷閾値により、過酷な環境でもシステムの長期安定した動作が保証され、メンテナンスコストとダウンタイムのリスクが軽減されます。
4. 「材料の不耐性」の問題を解決します。 強い紫外線は、特定の材料の老化（黄ばみ）や性能の低下を促進する可能性があります。高純度の石英素材自体が耐放射線損傷性に優れ、通常の光学材料をはるかに上回る寿命を持っています。
主な応用分野
高い紫外線透過率を誇る光学石英板は、その独自の性能により、以下のハイテク分野において欠かせないキーコンポーネントとなっています。
半導体およびマイクロエレクトロニクス製造:
リソグラフィー装置：DUVリソグラフィー装置の照明系および投影対物レンズのレンズ、プリズム、窓板として、チップの微細パターニングを実現するための中核となる光学部品です。
マスクプレート基板：フォトマスクテンプレートの基材として使用され、極めて高い平坦性とUV透過性が要求されます。
科学研究および分析機器:
分光計: サンプル セルの窓、分光プリズム、UV 分光計のレンズとして、検出信号の強度と精度を保証します。
蛍光分析: 励起光源のコリメートと蛍光シグナルの収集に使用されます。
放射光や天体観測：真空紫外帯のビームライン窓や検出器窓に使用されます。
医療およびバイオテクノロジー:
UV殺菌装置：水処理装置や空気浄化装置に使用される観察窓で、UV殺菌光を効果的に透過し、密閉隔離を実現します。
DNA アナライザーとフローサイトメーター: 光学システムの重要なレンズと窓として。
工業用の加工と試験:
UV レーザー加工: UV レーザーマーキング、切断、穴あけ装置の集光ミラー、保護ミラー、ビームエキスパンダーに使用されます。
UV硬化システム：UV-LEDや水銀灯硬化装置の窓として、接着剤やインクに紫外線を均一かつ効率的に照射します。
マシンビジョン: 特定の蛍光信号または反射信号を検出するために使用される UV 光源レンズとフィルター基板。
カスタマイズされたサービス
標準製品ではすべてのお客様の固有のニーズを満たすことができないことを私たちは承知しています。したがって、当社はお客様に最適なソリューションをカスタマイズすることを目的とした、包括的かつ柔軟なカスタマイズ サービスを提供します。
サイズと形状のカスタマイズ: 描画要件に応じて、ミリメートルから数百ミリメートルまでのサイズ範囲で、円形、正方形、長方形、またはその他の不規則な輪郭をカスタマイズできます。
厚さのカスタマイズ: 機械的強度、光路、重量の要件を満たすために、数ミリメートルから数十ミリメートルまでのさまざまな厚さのオプションを提供しています。
表面精度と表面のカスタマイズ:
表面平滑性: アプリケーション要件に応じて、20-10 から 10-5 までのさまざまなレベルの表面平滑性を提供できます。
表面精度: 最も要求の厳しいイメージングおよびレーザー アプリケーションの要件を満たすために、λ/10 以上の表面精度を処理できます。
コーティングサービス： UV反射防止フィルム（ARフィルム）、反射フィルム、分光フィルムの専門的なカスタマイズサービスを提供します。ご指定の紫外帯域において、光学性能のさらなる最適化（特定波長の透過率を99.5％以上にするなど）や、特定の光学機能を実現します。
過酷な紫外線環境にも耐えられる信頼性の高い光学石英板をお探しの場合、または特別なカスタマイズが必要な場合は、いつでもお気軽にお問い合わせください。当社の専門家チームが技術的な相談やサンプルのサポートを喜んで提供いたします。
Luverre Quartz は 、溶融石英管、溶融石英プレート、溶融石英ロッド、溶融石英窓、溶融石英るつぼ、溶融石英ボート、溶融石英フランジ、溶融石英ビーカー、溶融石英ガラス器具などを含む、幅広い高品質の溶融石英ガラスを製造および販売しています。溶融石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズ要求にお応えします。
詳細につきましては、お気軽にお問い合わせください。
なぜ私たちを選ぶのですか?
1.私たちはより経験豊富です。
当社は溶融石英製品の18年以上の生産経験があります。
2.私たちはより効率的です。
私たちはお客様のご要望に24時間以内にお答えし、高効率の生産、エンジニア、販売チームを擁しています。
3.当社の品質はより保証されています。
溶融石英の塊から溶融石英砂、そして溶融石英製品に至るまでの品質管理を行っており、他メーカーに比べてより厳格な品質管理を行っております。
4.より難易度の高い溶融石英製品の製造も可能です。
当社は、大型の研削プラットフォームと精密エッチング機を備えており、これにより、大型の溶融石英プレート、チューブ、高サイズの精密溶融石英製品の製造が可能になります。
