半導体機械石英ガラス板
半導体機械石英ガラス板は、主に半導体産業で使用される特殊な工業用テクニカルガラスです。高純度の二酸化ケイ素 (SiO2) で構成されており、優れた機械的、熱的、光学的、電気的特性を備えています。石英ガラスは、半導体、光デバイス、光通信、太陽エネルギーなどの産業において、かけがえのない役割を果たしています。
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石英ガラスの形成は、高温での溶融物の粘度が高いことによって引き起こされます。多結晶シリコンを単結晶シリコンに変えるダイレクトプル法、洗浄槽、散気管、エッチングボート、イオン注入のベルカバーなど、半導体製造のさまざまなプロセスで広く使用されています。石英ガラスの種類、工程、原料の違いにより、珪酸ガラス、石英ガラス、溶融石英、溶融石英、合成石英などの呼び方があります。中国では通常、石英ガラスは加工方法、目的、外観などによって分類されています。電気溶融透明石英ガラス、連続溶融石英ガラス、空気溶融透明石英ガラス、合成石英ガラス、不透明石英ガラス、光学石英ガラス、半導体石英ガラス、電気光学源石英ガラスなど。

石英ガラスの性能は主にその純度に依存し、次にプロセスまたは熱環境に依存します。微量の不純物の存在はその性能に重大な影響を与える可能性があり、プロセスまたは熱システムの不注意は外観の品質に影響を与える可能性があります。したがって、純度は石英ガラスの重要な指標であり、石英ガラスの物理的および化学的特性と使いやすさに大きな影響を与えます。