超低膨張率石英ロッド

超低膨張係数石英ロッドは、室温でほぼゼロの熱膨張係数、良好な熱膨張均一性、および低応力を特徴とする特殊なタイプの石英ガラスです。このタイプの石英ロッドは主に精密光学系のミラーやレーザー共振器などの部品に使用されており、宇宙望遠鏡、半導体露光装置用光学部品、原子時計などの分野で幅広く使用されています。

この超低膨張石英ガラスの作製方法は主に化学蒸着（CVD）法が採用されています。製造プロセスでは、シリコンとチタンを含む原料を均一に混合し、水素酸素バーナーで加水分解して二酸化チタンがドープされた二酸化ケイ素粒子を形成します。これらの粒子は空気流に導かれてるつぼ内に堆積し、その後回転して自由に流れてるつぼを満たすようになります。最後に、るつぼを制御して成形し、超低膨張の合成石英ガラスが得られます。

超低膨張石英ガラスは熱膨張係数が極めて低いため、温度変化に対しても安定したサイズを維持できるため、航空宇宙や精密測定などの分野で重要です。

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