반도체 제조 융합 실리카 유리 튜브

반도체 제조 융합 실리카 유리 튜브는 반도체 제조에 사용되는 주요 재료로, 주로 웨이퍼 제조, 에칭, 증착, 청소 및 기타 공정 단계에 사용됩니다.

반도체 제조 융합 실리카 유리 튜브는 높은 투명성, 낮은 열 팽창 계수, 고온 저항성 및 화학적 안정성과 같은 매우 높은 순도와 우수한 물리적 및 화학적 특성을 갖는 고품질 석영 유리 제품입니다. 반도체 제조 공정에서 웨이퍼, 반응 챔버의 내부 구성 요소 또는 전송 매체의 파이프 라인으로 사용됩니다.

재료 특성 : 융합 실리카 유리 튜브는 불순물 함량이 매우 낮은 고순도 이산화 실리콘 (SIO2)으로 만들어져 반도체 제조 공정에서 도입 될 수있는 오염을 줄이는 데 도움이됩니다.

높은 투명성 : 이 유리 튜브는 자외선, 가시적 및 근적외선 스펙트럼 범위에서 투명성이 매우 높으며, 이는 광선을 흡수하거나 산란시키지 않기 때문에 광 라디 리그 그래피 공정에 특히 중요합니다.

열 안정성 : 융합 실리카 유리 튜브는 열 팽창 계수가 매우 낮으며, 이는 고온에서 크기와 모양이 거의 변하지 않으므로 정확한 반도체 처리에 중요합니다.

화학적 관성 : 융합 실리카 유리 튜브는 대부분의 화학 시약에 대한 내성이 높으므로 반응없이 다양한 화학적 에칭 및 세정 공정에서 사용할 수 있습니다.

응용 분야 :

웨이퍼 캐리어 : 웨이퍼 제조 공정에서 석영 유리 튜브를 사용하여 웨이퍼를 운반하고 운반 할 수있어 다양한 제조 단계 중에 오염되지 않도록 할 수 있습니다.

반응 챔버 구성 요소 : 파이프, 노즐, 브래킷 등과 같은 반응 챔버의 내부 구성 요소로서 석영 유리 튜브는 고온 및 화학 부식 환경을 견딜 수 있습니다.

가스 전송 : 에칭 및 증착 공정에서 석영 유리 튜브는 반응 가스를 전달하여 순도 및 유량을 보장하는 데 사용됩니다.

가공 기술 : 반도체 제조 융합 실리카 유리 튜브를 제조하려면 반도체 산업의 높은 표준을 충족시키기 위해 고온 용융, 가공, 연마 및 울트라 클린 처리를 포함한 정밀 처리 기술이 필요합니다.

환경 적응성 : 고온 저항, 부식성 및 내마모성의 특성으로 인해 융합 실리카 유리 튜브는 진공, 고온 및 화학 부식 환경과 같은 반도체 제조의 극한 환경에서 안정적으로 작동 할 수 있습니다.

융합 실리카 유리 튜브의 반도체 제조는 반도체 장치의 품질과 성능을 보장하는 데 중요한 역할을합니다. 이들은 고정밀 및 고밀도 및 신뢰성 반도체 제조 공정을 달성하여 전자 제품의 지속적인 혁신과 개발을 촉진합니다.

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