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半導体製造融合シリカガラスチューブ

  • 半導体製造融合シリカガラスチューブ

  • 半導体製造融合シリカガラスチューブは、半導体製造に使用される重要な材料です

  • 真空PVCバッグで内側に、その後、木製の箱と外側のエアバブルフィルムで包まれています。

可用性:

半導体製造融合シリカガラスチューブ


半導体製造融合シリカガラスチューブは、主にウェーハ製造、エッチング、堆積、クリーニング、その他のプロセスステップで使用される半導体製造に使用される重要な材料です。


半導体製造融合シリカガラスチューブは、非常に高い純度と優れた物理的および化学的特性を備えた高品質の石英ガラス製品であり、透明性、低熱膨張係数、高温抵抗、化学的安定性などの優れた物理的および化学的特性です。これは、半導体製造プロセスで、反応チャンバーの内部コンポーネントとして、または伝送媒体のパイプラインとしてウェーハを運ぶために使用されます。


半導体製造融合シリカガラスチューブ


材料の特性: 融合したシリカガラスチューブは、高純度の二酸化シリコン(SIO2)で作られており、非常に低い不純物含有量があり、半導体製造プロセスで導入される汚染を減らすのに役立ちます。

高い透明度: これらのガラスチューブは、紫外線、可視性、および近赤外スペクトル範囲に非常に高い透明度を持っています。これは、光ビームを吸収または散乱させないため、フォトリソグラフィープロセスにとって特に重要です。

熱安定性: 融合したシリカガラスチューブは、熱膨張係数が非常に低いため、高温ではサイズと形状がほとんど変化しないことを意味します。これは、正確な半導体処理に重要です。

化学慣性: 融合したシリカガラスチューブは、ほとんどの化学物質試薬に対して高い耐性を持ち、反応せずにさまざまな化学エッチングおよび洗浄プロセスで使用できるようにします。

アプリケーション領域:

ウェーハキャリア:ウェーハの製造プロセス中に、クォーツガラスチューブを使用して、さまざまな製造ステップ中に汚染されていないことを確認することができます。

反応チャンバー成分:パイプ、ノズル、ブラケットなどの反応チャンバーの内部成分として、石英ガラス管は高温や化学腐食環境に耐えることができます。

ガス伝達:エッチングおよび堆積プロセスでは、クォーツガラスチューブを使用して反応ガスを送信して、純度と流量を確保します。

処理技術: 製造半導体製造融合シリカガラスチューブには、半導体業界の高い基準を満たすために、高温融解、機械加工、研磨、超清潔な治療を含む精密処理技術が必要です。

環境の適応性: 高温抵抗、耐性耐性、耐摩耗性の特性により、融合したシリカガラスチューブは、真空、高温、化学腐食環境などの半導体製造において極端な環境で安定して働くことができます。


クォーツプロパティ


融合シリカガラスチューブの半導体製造は、半導体デバイスの品質と性能を確保する上で重要な役割を果たします。高精度と高い信頼性の半導体製造プロセスを達成するのに役立ち、それにより電子製品の継続的な革新と開発を促進します。


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