Тигель из термостойкого кварца высокой чистоты

В полупроводниковых, фотоэлектрических, оптических покрытиях и лабораторных высокотемпературных процессах чистота и термостойкость тиглей напрямую определяют качество продукции и безопасность оборудования. Термостойкий кварцевый тигель высокой чистоты изготовлен из сырья диоксида кремния сверхвысокой чистоты в сочетании с передовыми процессами дуговой плавки или вакуумного пенообразования и имеет чрезвычайно низкое содержание примесей (общее количество примесей <20 ppm), отличную термостойкость и долговременную термостойкость (температура непрерывного использования 1100 ℃ -1250 ℃, кратковременно может достигать 1400 ℃). Он эффективно предотвращает миграцию и загрязнение материалов ионами металлов при высоких температурах и является идеальным несущим контейнером для сценариев с высокими требованиями, таких как выращивание кристаллов, спекание порошков и плавление металлов.

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

В1: Насколько высокую температуру может выдержать кварцевый тигель? Разрушится ли он при быстром нагреве и охлаждении?  

A: Наш кварцевый тигель высокой чистоты имеет температуру размягчения около 1650 ℃, и рекомендуется работать при температуре ≤ 1250 ℃ в течение длительного времени. Кварцевый материал имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения (около 5,5 × 10 ⁻⁷/℃), отличную термостойкость и может подвергаться прямому воздушному охлаждению от 1000 ℃ до комнатной температуры без растрескивания. Подходит для частых процессов повышения и понижения температуры.

Вопрос 2: Обычные керамические тигли могут загрязнять образцы. Насколько высока чистота ваших тиглей?  

Ответ: Обычная керамика содержит такие примеси, как Al, Na, Fe и т. д., которые склонны к диффузии при высоких температурах. Наш продукт имеет чистоту SiO ₂ ≥ 99% и общее содержание примесей металлов <20 ppm (типичное значение 15 ppm), особенно щелочных металлов (K, Na) <2 ppm, что соответствует строгим требованиям к микрозагрязнениям при плавлении полупроводников и материалов высокой чистоты.

В3: Можно ли изготовить тигли нестандартной формы, специальной толщины стенок или закрытые тигли?  

А: Хорошо. Мы поддерживаем настройку внешнего диаметра от 10 мм до 600 мм и высоты от 10 мм до 800 мм, при этом толщина стенки контролируется в пределах 2-15 мм. Мы также предлагаем квадратные, конические, переливные тигли, смотровые окна или герметичные тигли с крышкой с гибким минимальным объемом заказа.

В4: Будет ли шлак или пузырьки падать с поверхности тигля?  

Ответ: Мы используем технологию вакуумно-дуговой плавки и технологию безпузырчатого слоя на внутренней стенке, с плотной и гладкой внутренней поверхностью, без видимых пузырьков и пор, чтобы предотвратить загрязнение материала шлаком. В то же время он может предусматривать возможность создания полупрозрачных или полностью прозрачных слоев на внутренней стенке, что позволяет легко наблюдать за состоянием расплава.

Какие основные потребности может решить ваш продукт?

-Избегайте загрязнения при высоких температурах: решите проблемы брака продукта, дефектов решетки или снижения электрических характеристик, вызванных проникновением примесей.  

-Устойчивость к термическому растрескиванию: решает проблемы взрыва тигля, повреждения печи и остановки производства во время быстрого охлаждения и нагрева.  

-Адаптироваться к сложным процессам: решить проблему стандартных размеров, не соответствующих специальному оборудованию или материалам специальной формы.  

-Продлите срок службы: решите проблему затрат и времени, вызванных частой заменой тиглей.

Типичные сценарии применения

Полупроводник: рост кристаллов кремния, синтез арсенида галлия, вытягивание кристаллов оксида, чрезвычайно низкое содержание щелочных металлов, предотвращение смещения концентрации носителей.

Фотоэлектрические: кварцевые тигли для слитков поликристаллического кремния и вытягивания монокристаллического кремния, большие размеры (28-36 дюймов), высокая чистота внутренних стенок.

Лаборатория: высокотемпературное озоление, подготовка расплава для РФА, специальная плавка стекла, отсутствие перекрестного загрязнения, химическая инертность.

Оптическое покрытие: Испаренный материал покрытия плавится (например, MgF ₂, SiO ₂), без разбрызгивания или разрыва пузырьков.

Порошковая металлургия: плавка жаропрочных и редкоземельных сплавов, устойчивых к коррозии и не прилипающих к металлам.

Актуальные решенные проблемы:

Проблема 1: В процессе волочения монокристалла фотоэлектрических заказчиков кристаллизация в тигле приводит к поломке кромок.

-Явление: при использовании обычного тигля слой кристаллизации на внутренней стенке утолщается на более поздней стадии вытягивания кристаллов, а раствор кремния проникает в тигель и разъедает его, что приводит к неравномерному удельному сопротивлению и даже разрушению кристаллов кристаллического стержня.  

-Наше решение: предоставить тигли из синтетического кварца высокой чистоты (композитный слой натуральный кварц + синтетический кварц) со скоростью кристаллизации, сниженной более чем на 60%.  

-Результат: Выход монокристаллических продуктов увеличился на 12%, а время однократного использования тигля увеличилось с 200 часов до 280 часов.

Задача 2: В специальном научно-исследовательском институте стекла расплавили борсодержащее стекло, но в обычном тигле появились трещины и загрязнилась стекольная жидкость.

-Наш план: тигель индивидуальной формы с одинаковой толщиной стенок и дуговым дном, изготовленный из плавленого кварца высокой чистоты и предварительно обожженный для устранения напряжений.  

-Результат: прозрачность стеклянной жидкости улучшилась, без каких-либо микротрещин, и ее можно использовать повторно более 5 раз.

Вопрос 3: Североамериканским производителям полупроводникового оборудования требуются сверхчистые квадратные тигли со скошенными краями для процессов диффузии пластин.

-Наше решение: мы поставляем квадратные тигли по индивидуальному заказу с пламенно-полированными краями и пескоструйной обработкой внутренних поверхностей после прецизионной обработки, а также используем двухслойные полиэтиленовые пакеты и беспыльную вакуумную упаковку.  

-Результат: пройден тест на чистоту класса 10, проведенный клиентом.

Случай клиента (анонимно)

Случай A (фотоэлектрический монокристаллический кремний)

-Требование: кварцевый тигель большого размера диаметром 32 дюйма без пузырькового слоя на внутренней стенке и сроком службы более 250 часов.  

-Решение: использование композитной структуры, состоящей из синтетического внутреннего слоя высокой чистоты и внешнего слоя из натурального кварца, вакуумного фильтрационного формования и высокотемпературной обработки дегидроксилирования.  

-Эффект: фактическое время вытягивания кристалла достигло 268 часов, а срок службы головки кристаллического стержня увеличен на 15%. Закуплено шесть последовательных партий.

Случай B (Лаборатория перспективных материалов в университетах)

-Требование: Различные тигли неправильной формы небольшой емкости (5–50 мл) для экспериментов по коррозии расплавленных солей, требующие устойчивости к быстрому охлаждению.  

-Решение: Обеспечить кварцевый материал высокой чистоты с конструкцией крышки, толщиной стенок 3 мм и выдерживать многократное закаливание расплавленной солью (NaCl KCl) при 900 ℃.  

-Эффект: использование 50 циклов без утечек или разрывов значительно улучшает воспроизводимость экспериментальных данных.

Случай C (Компания по производству оптических покрытий)

-Требование: при нанесении слоев пленки с высоким показателем преломления разбрызгивание материала внутренней пленки в обычных тиглях может привести к образованию микропор в слое пленки.  

-Решение: изготовленный по индивидуальному заказу кварцевый тигель с зеркально полированными внутренними стенками, без пузырьков и брызгозащищенным кольцом с закрытой горловиной.  

-Эффект: Плотность микроотверстий слоя пленки снизилась с 20 на квадратный сантиметр до 0-2, а выход покрытия увеличился с 82% до 96%.

Нужны ли вам стандартные круглые тигли, квадратные, конические, пористые тигли или тигли с ручками, мы можем изготовить по чертежам и образцам. Добро пожаловать, чтобы указать размер, требования к чистоте и рабочую температуру. Предоставим технические решения и расценки. Немедленно свяжитесь с нами для получения поддержки по пробным или пробным испытаниям небольших партий.

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного кварцевого стекла, включая кварцевые трубки, кварцевые пластины, кварцевые стержни, кварцевые окна, кварцевые тигли, кварцевые лодочки, кварцевые фланцы, кварцевые стаканы, инструменты из кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из кварцевого стекла.