Высокоточная кварцевая пластина с прорезью посередине.

В области полупроводниковой литографии, прецизионных оптических измерений и упаковки микрофлюидных чипов плоскостность, точность положения пазов и чистота материала подложки напрямую определяют успех или неудачу процесса. А высокоточная кварцевая пластина с прорезями посередине, в качестве основы используется кварц высокой чистоты. Благодаря обработке на станке с ЧПУ и процессам прецизионного отжига в центре пластины получаются прямоугольные, круглые или неровные канавки/слепые канавки микронного размера. Он сочетает в себе высокую прозрачность, низкое расширение, устойчивость к высоким температурам и изоляционные свойства кварца, обеспечивая идеальную платформу для точного позиционирования компонентов, выравнивания оптического пути и герметизации жидкости с «нулевой деформацией и отсутствием загрязнения».

FAQ: Часто задаваемые вопросы для пользователей

В1: Какова точность размеров прорези?

A: Мы используем пятиосевой обрабатывающий центр с ЧПУ и технологию лазерной резки, с допуском ширины канавки, контролируемым в пределах ± 0,02 мм, допуском глубины канавки в пределах ± 0,01 мм и позиционным отклонением, не превышающим ± 0,03 мм, что соответствует строгим требованиям точности сборки и оптического выравнивания.

В2: Подвержена ли пластина с прорезями внутреннему напряжению или деформации?

О: Все изделия подвергаются градиентному отжигу (до 1200 ℃) после грубой обработки для полного устранения механических напряжений. Плоскостность пластины можно стабилизировать в пределах 0,05 мм/м, и даже при использовании в условиях жары выше 200 ℃ скорость изменения размера паза составляет менее 0,01%.

В3: Можно ли обрабатывать асимметричные или ступенчатые канавки?

О: Полностью поддерживается. Мы можем настроить прямоугольные пазы, U-образные пазы, пазы «ласточкин хвост», сквозные/слепые пазы, ступенчатые пазы и комбинированные пазы неправильной формы, а также обеспечить дополнительную обработку, такую ​​как снятие фасок, полировка дна или резьбовые отверстия для удовлетворения особых потребностей, таких как упаковка чипов и фиксация массива волокон.

Основная ценность продукта: решение трех основных проблем для пользователей

1. Решить проблему «неточного позиционирования прецизионных компонентов» - с точностью прорези на уровне микрометра обеспечить, чтобы чипы, оптические компоненты или датчики всегда находились в расчетном положении во время термоциклирования, и предотвратить сбой смещения.

2. Решить проблему «деформации материала, влияющей на оптические/проточные пути» - кварц высокой чистоты с чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения + прецизионный отжиг, обеспечивающий долговременную стабильность размера и плоскостности канавок при колебаниях температуры или вакуумной среде.

3. Устранение риска «загрязнения и недостаточной изоляции» . Кварц является естественным изолятором без осаждения ионов металлов, подходящим для сценариев с высокой чистотой, таких как предварительные процессы полупроводников и биомедицинские испытания.

Преимущества продукта и ценность применения

1. Возможность точной обработки для удовлетворения высокотехнологичных производственных потребностей.

-Точность слота на микронном уровне: благодаря высокоточной оптической системе позиционирования положение, размер и вертикальность слота полностью определяются в режиме онлайн, что обеспечивает согласованность партийной продукции.

- Сложная интегрированная формовка канавок: на одной пластине можно получить несколько независимых положений канавок, ступенчатых канавок или комбинированную структуру сквозных канавок и позиционирующих отверстий, что уменьшает количество сборочных деталей и улучшает интеграцию системы.

-Разнообразная обработка поверхности: канавка может обеспечить матовую поверхность (повышение адгезии), зеркальную полировку (уменьшение рассеяния света) или обработку покрытия для удовлетворения различных функциональных требований.

2. Преимущества материалов обеспечивают долгосрочную надежность.

-Термическая стабильность: подходит для экстремальных процессов, таких как высокотемпературное отверждение и низкотемпературные испытания, в диапазоне температур от -200 ℃ до 1100 ℃.

-Оптические характеристики: высокая прозрачность в диапазоне длин волн от ультрафиолетового до инфракрасного, область с прорезями можно использовать непосредственно в качестве оптического окна, чтобы избежать ошибок, возникающих при вторичной сборке.

-Химическая инертность: устойчивость к сильным кислотам и растворителям, возможность повторного использования после очистки, что снижает долгосрочные эксплуатационные расходы.

3. Максимальная услуга индивидуальной настройки, охватывающая исследования и разработки до массового производства.

-Диапазон размеров: длина от 50 до 1200 мм, ширина от 50 до 800 мм, толщина от 2 до 50 мм.

-Формы слотов: один слот, слот для массива, перекрестный слот, кольцевой слот, потайной слот и т. д., спроектированные по мере необходимости.

Типичные сценарии применения и случаи клиентов

Сценарии применения

-Полупроводниковое оборудование: носитель пластин, подложка для позиционирования фотолитографической маски.

-Оптоэлектронная упаковка: база соединения лазерной решетки, приспособление для выравнивания волоконной матрицы.

-Биочипы: микрофлюидные реакционные планшеты, платформы для наблюдения за клеточными культурами.

-Прецизионные инструменты: ячейка для образцов спектрометра, позиционирующая пластина внутри вакуумной камеры.

Кейс: Проект ведущего мирового производителя оптических модулей «Подложка для оптического двигателя 400G».

Задача: заказчику необходимо обработать 8 наборов прецизионных прямоугольных пазов, расположенных на расстоянии 5 мм друг от друга, на кварцевой пластине размером 120×60×8 мм для крепления лазерных чипов и матриц линз. Допуск на ширину канавки должен составлять ± 0,01 мм, плоскостность дна канавки - 0,01 мм, а смещение канавки после пайки оплавлением при 260 ℃ не должно превышать 2 микрона. Ранее использование керамических подложек приводило к снижению эффективности связи из-за несоответствия коэффициентов теплового расширения.

Решение: Мы используем кварцевые заготовки высокой чистоты с низким содержанием гидроксила, сначала выполняем двухстороннее шлифование до плоскостности 0,01 мм, затем фрезеруем пазы один за другим на пятиосном обрабатывающем центре и, наконец, выполняем 72-часовой градиентный отжиг. Каждый набор слотов полностью проверяется системой визуализации, и выдается отчет о координатах.

Эффект: после поставки продукта эффективность связи оптического двигателя клиента увеличилась на 12%, а процент прохождения после пайки оплавлением увеличился с 89% до 98,5%. Это решение было принято в качестве стандартной конструкции подложки для оптических модулей 800G нового поколения, а совокупная поставка составила более 3000 штук.

Ваша точная сборка или оптическое выравнивание ограничены недостаточной точностью подложки? Мы предоставляем полный спектр услуг по настройке процесса, от чертежей до готовой продукции, гарантируя точность каждого паза до микрометра. Немедленно свяжитесь с нами, чтобы получить эксклюзивное техническое решение и коммерческое предложение на «высокоточную кварцевую пластину со средним пазом».

Luverre Quartz производит и продает широкий ассортимент высококачественного плавленого кварцевого стекла, включая трубки из плавленого кварца, пластины из плавленого кварца, стержни из плавленого кварца, окна из плавленого кварца, тигли из плавленого кварца, лодочки из плавленого кварца, фланцы из плавленого кварца, стаканы из плавленого кварца, инструменты из плавленого кварцевого стекла и многое другое. Мы можем удовлетворить все индивидуальные требования к изделиям из плавленого кварцевого стекла.

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами.