Ozonfreies Halbleiter-Quarzboot ist ein Hochtemperatur-Trägerwerkzeug, das im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird, hauptsächlich zum Transport von Siliziumwafern oder anderen Halbleitermaterialien in Hochtemperaturdiffusions-, Oxidations-, Glüh- und anderen Prozessen. Dieses Produkt kann in einer Hochtemperaturumgebung von 1200 °C stabil arbeiten, ohne Ozon zu erzeugen, wodurch eine Verschmutzung der Halbleitermaterialien vermieden wird.

Produktmerkmale

1. Hohe Temperaturbeständigkeit

-Das Quarzboot besteht aus hochreinem Quarzglasmaterial, das bei einer hohen Temperatur von 1200 °C lange Zeit stabil arbeiten kann, ohne sich zu verformen oder zu schmelzen.

- Mit einem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten (5,5 × 10 ⁻⁷/℃) kann es auch bei schnellen Temperaturänderungen die Stabilität in Größe und Form beibehalten.

2. Chemische Stabilität

-Quarzmaterial weist gegenüber den meisten chemischen Substanzen eine extrem hohe Inertheit auf, mit Ausnahme von Flusssäure und heißer Phosphorsäure über 300 °C. Es reagiert kaum mit anderen chemischen Substanzen und verhindert so wirksam das Eindringen von Verunreinigungen.

-Der Verunreinigungsgehalt von hochreinem Quarzglas ist extrem niedrig, wobei die Metallverunreinigungen ppb-Werte erreichen, was die Reinheit von Halbleitermaterialien gewährleistet.

3. Optische Leistung

-Quarzglas hat eine gute Transparenz im gesamten Spektralbereich von Ultraviolett bis Infrarot, mit einer Durchlässigkeit für sichtbares Licht von über 93 % und einer Durchlässigkeit von über 80 % im ultravioletten Spektralbereich.

4. Elektrische Isolationsleistung

-Der Widerstandswert von Quarzglas entspricht dem Zehntausendfachen von gewöhnlichem Glas und weist auch bei hohen Temperaturen eine gute elektrische Isolationsleistung auf.

Maßgeschneiderte Dienstleistungen

1. Größenanpassung

-Wir können Quarzboote unterschiedlicher Größe entsprechend den Prozessanforderungen des Kunden anpassen. Der gängige Größenbereich umfasst Längen von 100 mm bis 1000 mm, Breiten von 50 mm bis 500 mm und Höhen von 20 mm bis 200 mm.

-Kunden können die passende Größe basierend auf den Spezifikationen und Prozessanforderungen der Halbleiterausrüstung auswählen, um eine perfekte Passform zwischen dem Quarzboot und der Ausrüstung zu gewährleisten.

2. Formanpassung

- Zusätzlich zum Standard-Bootsdesign können auch speziell geformte Quarzboote entsprechend den Kundenbedürfnissen angepasst werden, z. B. halbrund, flach, mit mehreren Rillen usw.

3. Kundenspezifische Oberflächenbehandlung

-Je nach Kundenwunsch kann die Oberfläche des Quarzbootes poliert, mattiert und anderen Behandlungen unterzogen werden, um unterschiedliche Prozessanforderungen zu erfüllen.

Anwendungsbereich

1. Halbleiterfertigung

-Im Halbleiterchip-Herstellungsprozess werden Quarzboote für Hochtemperaturdiffusion, Oxidation, Glühen und andere Prozesse verwendet, um Siliziumwafer zu transportieren und deren gleichmäßige Erwärmung in Hochtemperaturumgebungen sicherzustellen.

2. Photovoltaikindustrie

-Bei der Herstellung von Photovoltaikzellen dienen Quarzschiffchen als Träger für den Transport von Siliziumwafern und werden für Diffusionsprozesse von Phosphor oder Bor zur Bildung von PN-Übergängen verwendet.

3. Bereich Optoelektronik

-Wird für die Herstellung optoelektronischer Geräte wie LEDs, Laser usw. verwendet, um die Reinheit der Materialien und die Stabilität der Prozesse während der Hochtemperaturverarbeitung sicherzustellen.

Ozonfreie Halbleiter-Quarzschiffchen sind aufgrund ihrer hervorragenden Hochtemperaturbeständigkeit, chemischen Stabilität und optischen Leistung zu unverzichtbaren Verbrauchsmaterialien in der Halbleiterfertigung geworden. Wir sind bestrebt, unseren Kunden qualitativ hochwertige Produkte und maßgeschneiderte Dienstleistungen anzubieten, um die Entwicklung der Halbleiterindustrie zu unterstützen.

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzboote, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.