반도체 오존 프리 석영 보트 는 주로 고온 확산, 산화, 어닐링 및 기타 공정에서 실리콘 웨이퍼 또는 기타 반도체 재료를 운반하기 위해 반도체 제조 공정에 사용되는 고온 운반 도구입니다. 이 제품은 1200℃의 고온 환경에서도 오존 발생 없이 안정적으로 작동해 반도체 소재 오염을 피할 수 있다.

제품특징

1. 고온 저항 성능

- 석영보트는 고순도 석영유리 소재로 제작되어 1200℃의 고온에서도 변형이나 녹는 일 없이 장시간 안정적으로 작동할 수 있습니다.

- 열팽창계수가 낮아(5.5 × 10 ⁻·/℃) 급격한 온도 변화에도 크기와 형태의 안정성을 유지할 수 있습니다.

2. 화학적 안정성

- 석영 소재는 대부분의 화학 물질에 대해 매우 높은 불활성을 갖고 있으며, 불산과 300℃ 이상의 열인산을 제외하고는 다른 화학 물질과 거의 반응하지 않아 불순물의 유입을 효과적으로 방지합니다.

- 고순도 석영 유리의 불순물 함량은 극히 낮으며 금속 불순물은 ppb 수준에 도달하여 반도체 재료의 순도를 보장합니다.

3. 광학 성능

-석영유리는 자외선부터 적외선까지 전 스펙트럼 범위에서 우수한 투명성을 갖고 있으며, 가시광선 투과율은 93% 이상, 자외선 스펙트럼 영역에서는 80% 이상의 투과율을 가지고 있습니다.

4. 전기 절연 성능

- 석영 유리의 저항값은 일반 유리의 10,000배에 해당하며 고온에서도 전기 절연 성능이 좋습니다.

맞춤형 서비스

1. 사이즈 맞춤화

- 고객의 프로세스 요구 사항에 따라 다양한 크기의 석영 보트를 맞춤 설정할 수 있습니다. 일반적인 크기 범위에는 길이 100mm~1000mm, 너비 50mm~500mm, 높이 20mm~200mm가 포함됩니다.

- 고객은 석영 보트와 장비 사이의 완벽한 맞춤을 보장하기 위해 반도체 장비의 사양 및 프로세스 요구 사항에 따라 적절한 크기를 선택할 수 있습니다.

2. 모양 맞춤화

-표준 보트 디자인 외에도 반원형, 평판, 멀티 그루브 등과 같은 특수 형상의 석영 보트를 고객 요구에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.

3. 맞춤형 표면 처리

- 고객 요구 사항에 따라 석영 보트 표면을 광택 처리, 서리 처리 및 기타 처리하여 다양한 공정 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

적용분야

1. 반도체 제조

-반도체 칩 제조 공정에서 석영 보트는 고온 확산, 산화, 어닐링 및 기타 공정에 사용되어 실리콘 웨이퍼를 운반하고 고온 환경에서 균일한 가열을 보장합니다.

2. 태양광산업

- 태양전지 생산 시 석영 보트는 실리콘 웨이퍼를 운반하는 캐리어 역할을 하며, 인이나 붕소의 확산 공정에 사용되어 PN 접합을 형성합니다.

3. 광전자공학 분야

- LED, 레이저 등의 광전자소자 제조에 사용되며, 고온 가공 시 재료의 순도와 공정의 안정성을 보장합니다.

반도체 오존프리 석영 보트는 우수한 고온 저항성, 화학적 안정성, 광학 성능으로 인해 반도체 제조 분야의 필수 소모품이 되었습니다. 우리는 반도체 산업의 발전을 지원하기 위해 고품질의 제품과 맞춤형 서비스를 고객에게 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

Luverre Quartz는 석영 튜브, 석영 판, 석영 막대, 석영 창, 석영 도가니, 석영 보트, 석영 플랜지, 석영 비커, 석영 유리 기기 등을 포함한 다양한 고품질 석영 유리를 제조 및 판매합니다. 우리는 석영 유리 제품에 대한 모든 종류의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있습니다.