半導体オゾンフリー石英ボート は、半導体製造プロセスで使用される高温搬送ツールで、主にシリコンウェーハやその他の半導体材料を高温の拡散、酸化、アニールなどのプロセスで搬送するために使用されます。 1200℃の高温環境でもオゾンを発生せず安定して動作し、半導体材料への汚染を回避します。

製品の特徴

1. 耐高温性能

-石英ボートは高純度石英ガラス素材で作られており、1200℃の高温でも変形や溶融することなく長時間安定して動作します。

●熱膨張率が低い(5.5×10⁻⁷/℃)ため、急激な温度変化に対しても寸法や形状の安定性を保ちます。

2. 化学的安定性

・石英素材は、フッ酸や300℃以上の熱リン酸を除くほとんどの化学物質に対する不活性度が極めて高く、他の化学物質とほとんど反応せず、不純物の混入を効果的に防ぎます。

●高純度石英ガラスは不純物含有量が極めて低く、金属不純物がppbレベルに達しており、半導体材料の純度が確保されています。

3. 光学性能

●石英ガラスは可視光線透過率93％以上、紫外光領域での透過率80％以上と、紫外から赤外までの全波長領域において透明性が良好です。

4. 電気絶縁性能

●石英ガラスは通常のガラスの1万倍に相当する抵抗値があり、高温でも優れた電気絶縁性能を持っています。

カスタマイズされたサービス

1. サイズのカスタマイズ

-お客様のプロセス要件に応じて、さまざまなサイズの石英ボートをカスタマイズできます。一般的なサイズ範囲は、長さ 100mm ～ 1000mm、幅 50mm ～ 500mm、高さ 20mm ～ 200mm です。

-顧客は、半導体装置の仕様とプロセス要件に基づいて適切なサイズを選択し、石英ボートと装置の間に完璧なフィットを確保できます。

2. 形状のカスタマイズ

-標準のボートデザインに加え、半円形、平板、多溝などの特殊な形状の石英ボートも顧客のニーズに応じてカスタマイズできます。

3. カスタマイズされた表面処理

-顧客の要求に応じて、石英ボートの表面を研磨、つや消し、その他の処理して、さまざまなプロセス要件を満たすことができます。

応用分野

1. 半導体製造

-半導体チップの製造工程において、石英ボートはシリコンウェーハを搬送し、高温環境下での均一な加熱を確保するために、高温拡散、酸化、アニールなどのプロセスに使用されます。

2. 太陽光発電産業

-太陽電池の製造において、石英ボートはシリコンウェーハを搬送するためのキャリアとして機能し、PN接合を形成するためのリンまたはホウ素の拡散プロセスに使用されます。

3. オプトエレクトロニクス分野

-LED、レーザーなどの光電子デバイスの製造に使用され、材料の純度や高温処理中のプロセスの安定性を確保します。

半導体オゾンフリー石英ボートは、その優れた高温耐性、化学的安定性、光学性能により、半導体製造分野では欠かせない消耗品となっています。私たちは、半導体産業の発展をサポートするために、高品質の製品とカスタマイズされたサービスをお客様に提供することに全力を尽くしています。

ルベールクォーツは 、石英管、石英板、石英ロッド、石英窓、石英るつぼ、石英ボート、石英フランジ、石英ビーカー、石英ガラス器具など、幅広い高品質石英ガラスを製造・販売しています。石英ガラス製品のあらゆるカスタマイズのご要望にお応えいたします。