Halbleiter Der transparente Quarztiegel mit einem Außendurchmesser von 10–200 mm ist ein hochreines Quarzglasprodukt, das speziell für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Es wird hauptsächlich zum Tragen und Transportieren von Wafern verwendet und wird häufig in Schlüsselprozessen wie Diffusion, Oxidation, Reinigung, Ätzen usw. in der Halbleiterherstellung eingesetzt. Die Transparenz von Quarztiegeln verschafft ihnen einen einzigartigen Vorteil bei Prozessen, die Licht oder Belichtung erfordern.

Produktmerkmale

1. Hohe Reinheit und chemische Stabilität

-Hergestellt aus hochreinem Quarzglas (SiO₂), mit einer Reinheit von über 99,9 %. Mit Ausnahme von Flusssäure reagiert Quarzglas kaum chemisch mit anderen sauren Substanzen und seine Säurebeständigkeit ist 30-mal höher als die von Keramik und 150-mal höher als die von Edelstahl.

2. Hohe Temperaturbeständigkeit

-Die Erweichungstemperatur liegt bei etwa 1730 °C und kann bei 1100 °C über einen langen Zeitraum verwendet werden. Die höchste Temperatur kann in kurzer Zeit 1450 °C erreichen.

3. Thermische Stabilität

-Der Wärmeausdehnungskoeffizient ist extrem klein und kann drastischen Temperaturschwankungen standhalten. Selbst wenn es auf etwa 1100 °C erhitzt und in Wasser mit Raumtemperatur gelegt wird, explodiert es nicht.

4. Transparenzleistung

-Es verfügt über eine gute Transparenz im gesamten Spektralbereich von Ultraviolett bis Infrarot mit einer Durchlässigkeit für sichtbares Licht von über 95 %.

5. Elektrische Isolationsleistung

-Der Widerstandswert entspricht dem Zehntausendfachen von gewöhnlichem Glas und weist auch bei hohen Temperaturen eine gute elektrische Leistung auf.

Anwendungsszenarien

1. Halbleiterfertigung

-Wafer-Träger: Quarztiegel können mehrere Wafer aufnehmen und sie für verschiedene Prozessschritte sicher in Fertigungsanlagen platzieren.

-Hochtemperaturbehandlung: geeignet für Hochtemperaturprozesse wie thermisches Glühen und Oxidation. Quarztiegel bleiben in Umgebungen mit hohen Temperaturen stabil und schützen die Wafer vor Beschädigungen.

-Chemische Inertheit: Wird in verschiedenen chemischen Umgebungen verwendet und reagiert nicht mit den im Prozess verwendeten Chemikalien.

2. Lithographieverfahren

-Die Transparenz von Quarztiegeln ermöglicht es ihnen, die Anforderungen an Beleuchtung und Belichtung in Fotolithographieprozessen zu erfüllen.

3. Reinigen und Ätzen

- Während des Reinigungs- und Ätzprozesses können Quarztiegel chemischer Korrosion standhalten und sicherstellen, dass der Wafer während der Verarbeitung nicht kontaminiert wird.

Technische Spezifikationen

1. Größenbereich

-Außendurchmesser: 10–200 mm, kann je nach Kundenwunsch angepasst werden.

2. Genauigkeitsanforderungen

-Die Abweichung von Länge, Breite, Höhe und Durchmesser wird streng kontrolliert, zum Beispiel beträgt die Abweichung des Durchmessers im Bereich von 101–400 mm ± 0,5 mm.

3. Materialqualität

-Unterteilt in Standardqualität (S-Qualität) und hochreine Qualität (H-Qualität) eignen sich hochreine Quarztiegel für Prozesse mit höheren Anforderungen an den Gehalt an Verunreinigungselementen.

Vorteile und Wert

1. Hohe Präzision und Zuverlässigkeit

-Hochreine Quarzmaterialien und präzise Verarbeitungstechniken gewährleisten die Stabilität und Zuverlässigkeit von Quarztiegeln unter hohen Temperaturen und in chemischen Umgebungen.

2. Maßgeschneiderte Dienstleistungen

-Wir können die Größe und Form an die spezifischen Bedürfnisse der Kunden anpassen, um unterschiedliche Prozessanforderungen zu erfüllen.

3. Umweltschutz und Haltbarkeit

-Die chemische und thermische Stabilität von Quarzglas sorgt für eine längere Lebensdauer, verringert die Austauschhäufigkeit und senkt die Produktionskosten.

Der transparente Halbleiter-Quarztiegel mit einem Außendurchmesser von 10–200 mm ist aufgrund seiner hervorragenden Leistung und breiten Anwendungsszenarien zu einer unverzichtbaren Schlüsselkomponente in der Halbleiterfertigung geworden. Seine hohe Reinheit, hohe Temperaturbeständigkeit, chemische Stabilität und andere Eigenschaften bieten starke Garantien für den effizienten und stabilen Betrieb von Halbleiterprozessen.

Luverre Quartz produziert und vertreibt eine breite Palette hochwertiger Quarzgläser, darunter Quarzrohre, Quarzplatten, Quarzstäbe, Quarzfenster, Quarztiegel, Quarzschiffchen, Quarzflansche, Quarzbecher, Quarzglasinstrumente und mehr. Wir können alle Arten von individuellen Anforderungen an Quarzglasprodukte erfüllen.